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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 非晶态
  • 1 篇 薄膜晶体管
  • 1 篇 溶液燃烧法
  • 1 篇 zntisno薄膜

机构

  • 1 篇 浙江大学

作者

  • 1 篇 吕建国
  • 1 篇 冯丽莎
  • 1 篇 江庆军
  • 1 篇 叶志镇

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=ZnTiSnO薄膜"
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排序:
非晶zntisno薄膜的溶液燃烧法制备与TFT器件性能
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材料科学与工程学报 2017年 第2期35卷 177-180页
作者: 冯丽莎 江庆军 叶志镇 吕建国 浙江大学材料科学与工程学院 硅材料国家重点实验浙江杭州310027
本文采用溶液燃烧法,在较低温度下成功制备出非晶zntisno(ZTTO)薄膜,用作沟道层制备薄膜晶体管(TFT)。研究了Ti掺入对薄膜的结构、光学性能、元素化学态以及对TFT器件电学性能影响。研究结果表明,所制得的ZTTO薄膜均为非晶结构,可见光... 详细信息
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