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A Predictive Instrument for Sensitive and Expedited Measurement of ultra-barrier Permeation

Engineering 2021年第10期7卷 1459-1468页

作者： Jianfeng Wanyan Kun Cao Zhiping Chen Yun Li Chenxi Liu Runqing Wu Xiao-Dong Zhang Rong Chen State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology&School of Mechanical Science and Engineering Huazhong University of Science and TechnologyWuhan 430074China School of Materials Science and Engineering Huazhong University of Science and TechnologyWuhan 430074China

The reliable operation of flexible display devices poses a significant engineering challenge regarding the metrology of high barriers against water *** reliable results have been reported in the range of 10–6 g∙(m^(2)∙d)1,and there is no standard ultra-barrier for *** detect trace amount of water vapor permeation through an ultra-barrier with extremely high sensitivity and a greatly reduced test period,a predictive instrument was developed by integrating permeation models into high-sensitivity mass spectrometry measurement based on dynamic accumulation,detection,and evacuation of the *** reliability was ensured by means of calibration using a standard polymer *** calibration,the lower detection limit for water vapor permeation is in the range of 10–7 g∙(m^(2)∙d)1,which satisfies the ultra-barrier *** permeation models were developed and evaluated using experimental data so that the steady-state permeation rate can be forecasted from non-steady-state results,thus enabling effective measurement of ultra-barrier permeation within a significantly shorter test period.

关键词： Water vapor permeation ultra-barrier Predictive model Quadrupole mass spectrometer

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