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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 显微分析
  • 1 篇 tisin膜
  • 1 篇 组成
  • 1 篇 硅
  • 1 篇 pcvd
  • 1 篇 结构

机构

  • 1 篇 青岛化工学院

作者

  • 1 篇 李世直
  • 1 篇 石玉龙
  • 1 篇 彭红瑞

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=TiSiN膜"
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Si对tisin膜组成结构的影响
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功能材料 1999年 第1期30卷 66-67页
作者： 石玉龙 彭红瑞 李世直 青岛化工学院等离子体表面技术研究所 山东青岛266042
报告了等离子化学气相沉积（PCVD）硬膜tisin中Si对膜的影响。沉积膜经过电子探针（EMPA）、扫描电镜（SEM）、X射线（XRD）和X光电子谱（XPS）分析。实验表明，在TiN的气相沉积中加入少量Si可以明显改善膜的结构和组成。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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