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  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 si过渡态
  • 1 篇 x光激发电子能谱
  • 1 篇 电离辐照
  • 1 篇 si3n4/sio2复合栅...
  • 1 篇 氢离子刻蚀

机构

  • 1 篇 中国科学院新疆物...
  • 1 篇 西安电子科技大学

作者

  • 1 篇 严荣良
  • 1 篇 陆妩
  • 1 篇 范隆
  • 1 篇 郝跃

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=Si过渡态"
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si_3N_4/siO_2复合栅介质电离辐照的电子能谱分析
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西安电子科技大学学报 2003年 第3期30卷 302-305页
作者： 范隆 郝跃 严荣良 陆妩 西安电子科技大学微电子所 陕西西安710071 中国科学院新疆物理研究所 新疆乌鲁木齐830011
采用氩离子刻蚀X光激发电子能谱分析方法对si3N4/siO2/si复合栅介质系统进行电离辐照剖析.实验结果表明存在一个由si3N4和siO2构成的界面区及由siO2和si构成的界面区,电离辐照能将siO2/si界面区中心向si3N4/siO2界面方向推移,同时siO2/S... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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