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学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 多孔结构
  • 1 篇 脉冲偏压
  • 1 篇 si/siox薄膜
  • 1 篇 等离子体沉积
  • 1 篇 pe隔膜

机构

  • 1 篇 东华大学

作者

  • 1 篇 杨沁玉
  • 1 篇 石建军
  • 1 篇 张菁
  • 1 篇 施芸城
  • 1 篇 王超梁
  • 1 篇 郭颖
  • 1 篇 韩佑驰
  • 1 篇 吴茂水

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=Si/SiOx薄膜"
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多孔纳米晶氧化硅基薄膜的等离子体沉积与应用
多孔纳米晶氧化硅基薄膜的等离子体沉积与应用
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医...
作者： 王超梁 吴茂水 韩佑驰 杨沁玉 郭颖 施芸城 石建军 张菁 东华大学理学院
常压射频等离子体对反应性气体裂解效率高,辅以脉冲或者偏压调制,可以较好的调控沉积薄膜的结构形貌,由于沉积温度较低,在有机无机复合薄膜制备方面具有较好的应用性,如提高锂离子电池动力汽车聚乙烯(PE)隔膜的耐温性等。本文研究了偏... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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