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作者

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  • 1 篇 norbert kaiser
  • 1 篇 sergiy yulin
  • 1 篇 torsten feigl

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Multilayer optics for the EUV and soft X-rays
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光学精密工程 2005年 第4期13卷 421-429页
作者： Torsten Feigl Sergiy Yulin Nicolas Benoit Norbert Kaiser Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik Albert-Einstein-Str. 7 D-07745 Jena GermanyFraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik Albert-Einstein-Str. 7 D-07745 Jena GermanyFraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik Albert-Einstein-Str. 7 D-07745 Jena GermanyFraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik Albert-Einstein-Str. 7 D-07745 Jena Germany
The demand to enhance the optical resolution, to structure and observe ever smaller details, has pushed the way towards the EUV and soft X-rays. Induced mainly by the production of more powerful electronic circuits wi... 详细信息
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