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saw谐振器在发射机中的稳频应用

九江职业技术学院学报 2004年第2期 31-32,35页

作者：赵翠玉黄金林常州市第二职业高级中学江苏常州213001 常州技术师范学院江苏常州213001

本文针对振荡电路中LC振荡的不稳定性 ,提出了使用saw器件稳频技术 ,介绍了saw器件的特点在saw谐振器件发射机中的稳频原理。

关键词： saw谐振器发射机振荡电路 LC振荡稳频原理无线电技术

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saw谐振器频率的精确微调

压电与声光 1996年第2期18卷 139-139页

作者：张传忠

ＳＡＷ谐振器频率的精确微调随着声表面波（ＳＡＷ）谐振器向高频方向的发展，使其在制作过程中准确地控制其频率变得越来越困难。而在一些对ＳＡＷ谐振器的频率精度要求很严的应用场合，例如点频源，准确地控制其频率又特别重要。这样... 详细信息

ＳＡＷ谐振器频率的精确微调随着声表面波（ＳＡＷ）谐振器向高频方向的发展，使其在制作过程中准确地控制其频率变得越来越困难。而在一些对ＳＡＷ谐振器的频率精度要求很严的应用场合，例如点频源，准确地控制其频率又特别重要。这样往往就需要对一些ＳＡＷ谐振器的频率...

关键词：声表面波 saw谐振器频率

对saw谐振器气体传感器的表面质量负载与传感器性能之间关系的研究

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测试技术学报 1996年第2期10卷 349-353页

作者：戴恩光冯冠平清华大学精密仪器与机械学系北京100084

首先研究双端声表面波谐振器的一些特点,然后从saw技术与有机膜技术结合的角度,分析了采用谐振器(sawR)对有机气体检测时,膜层引起的质量负载的大小对传感器性能的影响,目的是以更深层的着眼点进一步分析sawR的使用。

关键词： saw谐振器质量负载效应敏感膜

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单端口声表面波谐振器在片去嵌方法分析

压电与声光 2023年第3期45卷 342-345页

作者：韩晓宇帅垚吴传贵罗文博潘忻强张万里电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室四川成都611731

为了准确地设计声表滤波器,需要从参考声表面波(saw)谐振器的测量值中提取精确的材料参数。测量saw谐振器时,单个谐振器无法直接进行测试,需要引出传输线并使用GSG或GS探针进行测量,消除传输线影响的去嵌入过程对于saw谐振器材料参数的... 详细信息

为了准确地设计声表滤波器,需要从参考声表面波(saw)谐振器的测量值中提取精确的材料参数。测量saw谐振器时,单个谐振器无法直接进行测试,需要引出传输线并使用GSG或GS探针进行测量,消除传输线影响的去嵌入过程对于saw谐振器材料参数的准确提取非常重要。该文介绍了几种声表面波谐振器的去嵌入技术,包括Open-Short算法、电磁仿真方法、分段等效电路模型方法、集总参数等效电路法。通过实例验证了几种常用的去嵌方法并对其进行了分析。

关键词：去嵌入 saw谐振器机电耦合系数等效电路集总参数法

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用于声光移频的声表面波谐振器

半导体光电 2013年第5期34卷 755-758,761页

作者：王春梅温志渝张祖伟重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学国家新型微纳器件与系统技术重点学科实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

针对一种喇曼型声表面波声光器件的设计需求,设计制作出一种能够满足喇曼-奈斯衍射要求的、低损耗、高Q值声表面波谐振器。利用耦合模(COM)理论仿真谐振器的性能,建立谐振器的COM模型,求解COM方程,提取出COM参数。利用COM软件仿真设计... 详细信息

针对一种喇曼型声表面波声光器件的设计需求,设计制作出一种能够满足喇曼-奈斯衍射要求的、低损耗、高Q值声表面波谐振器。利用耦合模(COM)理论仿真谐振器的性能,建立谐振器的COM模型,求解COM方程,提取出COM参数。利用COM软件仿真设计谐振器的结构参数,设计的谐振器中心频率为78.028MHz,Q值为10 428,插入损耗为-6.153dB。利用微加工技术加工制作出声表面波谐振器,用矢量网络分析仪对其性能进行测试,得到谐振器实际中心频率为78.34MHz,插入损耗为-11.273dB,Q值为6 465.7,该谐振器能够满足喇曼型声表面波声光器件的应用需求。

关键词：喇曼-奈斯衍射 saw谐振器中心频率插入损耗 Q值

基于软件无线电方案无线无源saw温度阅读器设计

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压电与声光 2024年第1期46卷 22-25页

作者：王其豪曹俊豪张光祖罗为华中科技大学集成电路学院湖北武汉430074 深圳华中科技大学研究院广东深圳518057

目前谐振型声表面波(saw)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射... 详细信息

目前谐振型声表面波(saw)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射频开关隔离收发。通过发射步进频率5 kHz、带宽1 MHz扫频信号,并对回波进行频谱分析求取最大值,最终得到谐振频率。针对saw传感器回波持续时间较短而导致FFT计算分辨率的不足,使用重复采集增加数据长度,将阅读器的分辨率提高到468.75 Hz。实验结果表明,该阅读器能够正确探测传感器温度变化。

关键词：声表面波 saw谐振器 AD9361 软件无线电 ZYNQ

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MEMS-saw陀螺仪研究

传感器与微系统 2010年第11期29卷 61-63,66页

作者：李泉溪银兵河南理工大学计算机科学与技术学院河南焦作454003 河南理工大学电气工程与自动化学院河南焦作454003

采用耦合模(COM)理论对声表面波(saw)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对saw谐振器和saw传感器进行实验评价。这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在saw加速度传感器上。

关键词：微机电系统声表面波陀螺仪 saw谐振器 saw传感器

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声表面波谐振器传播状态的ANSYS仿真

微纳电子技术 2009年第12期46卷 739-743,749页

作者：陈营端高杨白竹川刘婷婷西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 西南科技大学制造科学与工程学院四川绵阳621010

为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(saw)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和saw谐振器工作原理分析的基础上,建立了saw谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个saw波长尺寸内划分30... 详细信息

为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(saw)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和saw谐振器工作原理分析的基础上,建立了saw谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个saw波长尺寸内划分30～40个网格可以得到较精确的仿真结果。对不同长度声孔径的声表面波谐振器进行了仿真分析,得出了声表面波只在固体表面1～2个波长深度范围内传播的仿真效果图,与理论分析有很好的一致性。最后对IDT/ZnO/金刚石/Si结构的声表面波器件进行了仿真,得出该结构声表面波器件saw传播速度与ZnO的厚度成反比,其大小是IDT/ZnO结构器件saw传播速度的2～3倍。

关键词： RF MEMS saw谐振器叉指换能器(IDT) ANSYS软件建模与仿真

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基于声表面波的非接触无线温度测量系统研究

基于声表面波的非接触无线温度测量系统研究

作者：许睿浙江大学

学位级别：硕士

随着现代工业与科学技术的快速发展,在许多特殊领域,对温度测量技术提出了新的要求。传统的液体温度计、热电偶温度传感器、比色温度计、红外测温仪等测量方法,无法很好地适用于某些特定领域的温度非接触实时测量。因此,研究发展新型的... 详细信息

随着现代工业与科学技术的快速发展,在许多特殊领域,对温度测量技术提出了新的要求。传统的液体温度计、热电偶温度传感器、比色温度计、红外测温仪等测量方法,无法很好地适用于某些特定领域的温度非接触实时测量。因此,研究发展新型的温度测量技术及系统,不仅具有重要的学术意义,而且在诸多领域具有广泛的实用价值。近年来,国内外开展了将声表面波(saw)器件用于无线传感技术的研究,其中,利用saw器件的谐振频率随温度变化的特性,可以实现温度的非接触无线测量。为此,本文将saw谐振器和现场可编程门阵列(FPGA)相结合,开展了基于saw谐振器和FPGA的非接触实时测温技术及系统研究。论文的主要研究内容和研究成果如下：本文提出和发展了一种基于saw谐振器和FPGA的非接触实时测温新方法。该方法采用saw谐振器作为温度传感器,根据谐振频率随温度变化的特性实现温度的非接触实时传感;利用信号发射集成芯片与信号接收集成芯片,提高了信号收发与处理电路的集成度和稳定性;首次采用FPGA开发板,以振幅键控方式(ASK)而不是机械开关切换的方式,实现发射信号与接收信号之间的高速切换,并使强发射信号不再对微弱的接收信号产生干扰,显著提高了系统的响应速度和测量性能。研究建立了一套新型的非接触温度实时测量与监控系统。该系统由FPGA开发板、ASK控制端口、信号发射与功率放大电路模块、射频发射与接收天线、saw温度传感器、信号接收与差频电路模块、计算机及软件等部分组成。当FPGA输出的ASK控制信号为高电平时,信号发射电路模块产生中心频率约为433MHz的高频发射信号,通过功率放大模块将信号放大到10 mW左右,由工字形天线发射出去(TS信号);saw谐振器上的螺旋形天线接收到此信号后,通过叉指换能器(IDT)激励saw谐振器产生声表面波。当ASK信号变为低电平时,TS信号瞬间停止发射,但saw谐振器谐振产生的声表面波仍将持续一小段时间,并通过与saw谐振器相连的螺旋天线发射出去,被工字天线接收(RS信号)。信号接收与差频电路将该信号与本征信号进行差频,得到的中频信号(IS信号)可以直接由A/D接口采样输入到FPGA模块,并经FPGA数据处理后传输到计算机,编写的软件将IS信号进行快速傅里叶变换(FFT),得到频率fIs;该频率值与被测对象的温度一一对应,据此即可实时测量和监控温度值。对研制的基于saw与FPGA的无线温度测量与监控系统开展了性能实验研究,用恒温板对不同温度下saw温度传感器的谐振频率进行测定,实验结果表明,该系统可测量的最高温度达120℃,谐振频率一温度系数平均值为-5.7 kHz/℃,温度测量分辨率优于0.50℃。利用该系统对大功率激光器的温度进行了非接触实时测量与监控,得到满意的实验结果,证明该系统具有非接触、实时、精度高等优点,为实现光电、机电、机械、电力电子等设备的实时温度测量、监控及安全报警等提供了新的方法与途径。

关键词： saw谐振器 FPGA 温度传感谐振频率非接触测量实时监控