检索结果-南通市图书馆

Numerical Calculations of Some Plasma Parameters of the Capacitively Coupled <i>rf</i>discharge

Journal of Modern Physics 2014年第8期5卷 591-598页

作者： Mohamed Ali Hassouba Ahmed Rida Galaly Usama Mohamed Rashed Applied Physics Department Faculty of Applied Sciences Taibah University Medina KSA Engineering Science Dept Faculty of Community Umm Al-Qura University Mecca KSA Physics Department Faculty of Sciences Alazhar University Cairo Egypt

Numerical calculations by using a self-consistent model of the collisional sheath for the capacitively coupled rf discharge are our target. The results indicated that, at high pressure, the ohmic heating is usually the dominant heating mechanism in the discharge. The power dissipated in the sheath is calculated and compared with the measured data. Moreover, we indicated that, when the gas pressure is increased, the calculated dissipated power is decreased also while the measured input rf power is increased. Furthermore the sheath thickness of the capacitively coupled discharge is calculated and in the same order of the electron oscillation amplitude in the rf field, while the ionization mean free path is shorter than it.

关键词： rf-discharge Self-Consistent Model Ohmic Heating

来源：

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：