检索结果-南通市图书馆

光电技术应用 2015年第4期30卷 1-4,79页

作者：袁忠才邹天祥电子工程学院 77526部队

微结构光栅在材料光谱发射率控制方面具有独特的优势和广阔的应用前景。利用严格耦合波分析(rcwa),结合铁的电磁参数,考察了铁微结构发射率在红外波段的光谱选择性,并结合光栅区场的分布特征,分析了形成光谱和极化选择性的物理机理。所... 详细信息

微结构光栅在材料光谱发射率控制方面具有独特的优势和广阔的应用前景。利用严格耦合波分析(rcwa),结合铁的电磁参数,考察了铁微结构发射率在红外波段的光谱选择性,并结合光栅区场的分布特征,分析了形成光谱和极化选择性的物理机理。所分析结构在红外发射率控制的相关应用中具有指导意义。

关键词：微结构光栅光谱选择性 rcwa

Solving the inverse grating problem by white light interference Fourier scatterometry

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Light(Science & Applications) 2012年第1期1卷 17-23页

作者： Valeriano Ferreras Paz Sandy Peterhansel Karsten Frenner Wolfgang Osten Institute of Applied Optics Stuttgart University70569 StuttgartGermany SCoPE—Stuttgart Research Center of Photonic Engineering Stuttgart UniversityStuttgartGermany

Scatterometry is a well-established,fast and precise optical metrology method used for the characterization of sub-lambda periodic *** Fourier scatterometry method,by analyzing the Fourier plane,makes it possible to collect the angle-resolved diffraction spectrum without any mechanical *** improve the depth sensitivity of this method,we combine it with white light *** show the exemplary application of the method on a silicon line *** characterize the sub-lambda features of the grating structures,we apply a model-based reconstruction approach by comparing simulated and measured *** simulations are based on the rigorous coupled-wave analysis method.

关键词： Fourier scatterometry inverse problem optical sub-lambda metrology rcwa white light interference

复合Ag/SiO_2正弦光栅基底SERS特性分析

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中国光学 2019年第1期12卷 59-74页

作者：肖程陈志斌秦梦泽张冬晓陆军工程大学石家庄校区电子与光学工程系中国人民解放军63908部队

当前微流控表面增强拉曼散射(SERS)检测领域常用的贵金属纳米颗粒溶胶单位体积内热点区域数量有限且热点区域范围较小,而贵金属纳米三维阵列结构加工时间长,成本高昂并存在"记忆效应"。本文提出了集成到微流道的复合Ag/SiO_2正弦光栅SER... 详细信息

当前微流控表面增强拉曼散射(SERS)检测领域常用的贵金属纳米颗粒溶胶单位体积内热点区域数量有限且热点区域范围较小,而贵金属纳米三维阵列结构加工时间长,成本高昂并存在"记忆效应"。本文提出了集成到微流道的复合Ag/SiO_2正弦光栅SERS基底结构,可以利用激光干涉光刻技术进行制备,无需预制掩膜版,可实现大面积、低成本SERS基底简易快速制备。利用严格耦合波分析方法(rcwa)建立了复合正弦光栅表面电场增强数学评估模型,推导了表面等离子体共振(SPP)耦合吸收率数学模型,分析了入射光、复合正弦光栅结构与外界环境介电常数的优化匹配关系,得到了入射光785 nm条件下的最佳复合正弦光栅结构。通过制备加工并实验验证了复合正弦光栅的SERS性能,SERS增强因子(EF)能够达到10~4。

关键词： rcwa 复合正弦光栅 SERS 微流控

Design of Waveguide Head-Up Display with Embedded Gratings

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中国激光 2012年第9期39卷 204-209页

作者：尤勐黄战华蔡怀宇 College of Precision Instrument and Optoelectronics Engineering Tianjin University Key Laboratory of Opto-Electronics Information Technology(Tianjin University) Ministry of Education

The embedded grating is applied in the waveguide head-up *** an incident and exit coupling grating,it can satisfy the highly efficient and uniform display for large field of view(FOV) based on rigorous coupled wave analysis(rcwa).Compared with holograms in previous designs,it can be easily duplicated with high reliability and low *** total internal reflection condition is discussed in the plate,and the revolving problems are discussed in the *** system is simulated in software with good optical performance : 50-mm exit pupil,a30°× 20°FOV,distortion of less than 0.5%,and low *** results are useful for transparent display in vehicles or wearable helmets.

关键词：平视显示器光栅设计嵌入式波导严格耦合波分析 rcwa 全内反射光学性能

一维深亚波长光栅的耦合波分析及偏振特性的研究

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中国激光 2002年第9期29卷 795-800页

作者：袁惠周进王晓伟黄信凡南京大学物理系江苏南京210093

讨论了一种新的一维深亚波长光栅,其周期结构由等离子体增强化学气相淀积法(PECVD)制备的周期性多层膜构成。简单介绍了这种深亚波长光栅的制作方法。采用严格耦合波分析(rcwa)理论计算了这种一维深亚波长光栅的衍射效率,分析了它的偏... 详细信息

讨论了一种新的一维深亚波长光栅,其周期结构由等离子体增强化学气相淀积法(PECVD)制备的周期性多层膜构成。简单介绍了这种深亚波长光栅的制作方法。采用严格耦合波分析(rcwa)理论计算了这种一维深亚波长光栅的衍射效率,分析了它的偏振特性。

关键词：一维深亚波长光栅严格耦合波分析偏振特性 rcwa

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基于遗传算法优化光栅辐射特性

工程热物理学报 2016年第7期37卷 1538-1543页

作者：刘立君李龙飞毛前军东北石油大学土木建筑工程学院大庆163318

光栅是一种应用非常广泛的光学元件。通过优化结构尺寸的方法可以获得同样材料光栅的不同辐射特性。本文以一维微结构金属电介质光栅为例,以8～12μm作为目标波段,通过严格耦合波分析与遗传算法相结合的方法对单组金属电介质光栅和双组... 详细信息

光栅是一种应用非常广泛的光学元件。通过优化结构尺寸的方法可以获得同样材料光栅的不同辐射特性。本文以一维微结构金属电介质光栅为例,以8～12μm作为目标波段,通过严格耦合波分析与遗传算法相结合的方法对单组金属电介质光栅和双组金属电介质光栅的结构尺寸和光学常数进行双重优化,找到了硅作为电介质材料时的最优结构尺寸和该结构尺寸下电介质材料的最优光学常数。通过该方法,可以用来调控所有目标波段下的辐射特性,为进一步提高一维微结构光栅辐射特性提供了新的途径。

关键词：光栅遗传算法 rcwa 辐射

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微扰法在衍射光栅分析中的应用

电子学报 2016年第9期44卷 2046-2050页

作者：范丽晶陈树强燕宇杰马磊电子科技大学物理电子学院四川成都610054

在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中,严格耦合波分析法(Rigorous Coupled Wave Analysis,rcwa)方法计算耗时,占用内存比较大.本文将微扰法与rcwa相结合的算法应用于二维衍射光栅分析中,以提高其计算效率.求解非矩形光栅问题时,... 详细信息

在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中,严格耦合波分析法(Rigorous Coupled Wave Analysis,rcwa)方法计算耗时,占用内存比较大.本文将微扰法与rcwa相结合的算法应用于二维衍射光栅分析中,以提高其计算效率.求解非矩形光栅问题时,需将光栅做阶梯近似.通过rcwa求解参考层的本征值,其余层的本征值可通过微扰法得到.实验表明,微扰法满足计算精度要求,且计算效率也能得到提高.对于本文中的例子,当光栅的截断阶数选为12时,计算时间可以节省45%.

关键词：光栅微扰法衍射 rcwa

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亚波长介质光栅的制作误差分析

光子学报 2004年第1期33卷 76-80页

作者：曹召良卢振武李凤有孙强任智斌赵晶丽中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130022 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光电传感技术研究室长春130022

利用严格耦合波理论 (rcwa )分析了方向误差和面形误差对亚波长光栅衍射效率的影响通过分析发现 ,方向误差和图案边缘钝化对光栅的衍射效率影响不大 ,而刻蚀过程中由于侧壁倾斜而产生的面形误差对光栅的衍射效率影响非常大在制作亚... 详细信息

利用严格耦合波理论 (rcwa )分析了方向误差和面形误差对亚波长光栅衍射效率的影响通过分析发现 ,方向误差和图案边缘钝化对光栅的衍射效率影响不大 ,而刻蚀过程中由于侧壁倾斜而产生的面形误差对光栅的衍射效率影响非常大在制作亚波长光栅时 ,可以通过选取合理的刻蚀系统或增大占空比的方法来避免基底型误差的出现该结论对于制作亚波长光栅具有重要的指导作用同时根据得出的结论 ,选用专门用于硅深刻蚀的等离子体辅助刻蚀系统制作出了红外30 μm亚波长抗反射光栅 ,检测结果显示。

关键词：亚波长光栅方向误差面形误差 rcwa 衍射效率

在入射平面内小角度入射一维光栅零级衍射场的简便计算方法

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电子学报 2011年第8期39卷 1878-1882页

作者：陈树强电子科技大学物理电子学院四川成都610054

耦合波分析法(rcwa)方法是目前研究光栅衍射最普遍的方法.垂直入射到光栅表面的光使衍射光的正负N级衍射波处于对称状态,使得在rcwa法中原先需要计算2N+1级衍射的2N+1阶矩阵问题降低到计算N+1级衍射的N+1阶矩阵问题.本文将这种对称结构... 详细信息

耦合波分析法(rcwa)方法是目前研究光栅衍射最普遍的方法.垂直入射到光栅表面的光使衍射光的正负N级衍射波处于对称状态,使得在rcwa法中原先需要计算2N+1级衍射的2N+1阶矩阵问题降低到计算N+1级衍射的N+1阶矩阵问题.本文将这种对称结构的简化方法推广到非垂直入射、光栅条纹在入射平面内的情况,使得在这种耦合情况下的2(2N+1)阶矩阵问题简化为2(N+1)阶矩阵问题.同时针对小角度入射的情况提出了进一步简化计算方法将其简化为(N+1)阶矩阵问题.实验表明在较大的范围内,其误差均可接受,在工程应用具有重要的意义.

关键词：光栅 rcwa 衍射对称性