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Dual-polarization multiplexing amorphous Si:H grating couplers for silicon photonic transmitters in the photonic bicmos backend of line

引用

Frontiers of Optoelectronics 2022年第1期15卷 143-155页

作者： Galina Georgieva Christian Mai Pascal M.Seiler Anna Peczek Lars Zimmermann Hochfrequenztechnik-Photonik/Siliziumphotonik Technische Universität BerlinStraße des 17.Juni 13510623 BerlinGermany IHP-Leibnitz Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 2515236 Frankfurt(Oder)Germany IHP Solutions GmbH Im Technologiepark 715236 Frankfurt(Oder)Germany

In this paper,we report on polarization combining two-dimensional grating couplers(2D GCs)on amorphous Si:H,fabricated in the backend of line of a photonic bicmos *** 2D GCs can be used as an interface of a hybrid silicon photonic coherent transmitter,which can be implemented on bulk Si *** fabricated 2D GCs operate in the telecom C-band and show an experimental coupling efficiency of−5 dB with a wafer variation of±1.2 *** for efficiency enhancement and improved performance stability in future design generations are outlined and extension toward O-band devices is also investigated.

关键词： Hybrid integration photonic bicmos Amorphous silicon Two-dimensional grating coupler(2D GC) Dual-polarization coherent communication Silicon photonics

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