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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 金属离子注入
  • 1 篇 pill技术
  • 1 篇 mevva源

机构

  • 1 篇 北京师范大学

作者

  • 1 篇 张涛
  • 1 篇 侯君达

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=PIll技术"
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MEVVA源金属离子注入和金属等离子体浸没注入
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中国表面工程 2000年 第3期13卷 8-12页
作者： 张涛 侯君达 北京师范大学低能核物理所
MEVVA源金属离子注入技术和金属等离子体浸没注入技术MePIII的共同特性是强流金属离子注入。它们各具长处，相互补充，共同发展。前者因无鞘层重叠问题和其方向强的特点，特别适用于小件、简单件的大批量金属离子注入处理，能保证处理... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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