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Improving Smoothing Efficiency of Rigid Conformal Polishing Tool Using Time-Dependent Smoothing Evaluation Model

Photonic Sensors 2017年第2期7卷 171-181页

作者： Chi SONG Xuejun ZHANG Xin ZHANG Haifei HU Xuefeng ZENG Changchun Institute of optics Fine Mechanics and Physics Chinese Academy of Sciences Changchun 130033 China Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology Chinese Academy of Sciences Changchun 130033 China University of Chinese Academy of Sciences Beijing 100049 China

A rigid conformal （RC） lap can smooth mid-spatial-frequency （MSF） errors, which are naturally smaller than the tool size, while still removing large-scale errors in a short time. However, the RC-lap smoothing efficiency performance is poorer than expected, and existing smoothing models cannot explicitly specify the methods to improve this efficiency. We presented an explicit time-dependent smoothing evaluation model that contained specific smoothing parameters directly derived from the parametric smoothing model and the Preston equation. Based on the time-dependent model, we proposed a strategy to improve the RC-lap smoothing efficiency, which incorporated the theoretical model, tool optimization, and efficiency limit determination. Two sets of smoothing experiments were performed to demonstrate the smoothing efficiency achieved using the time-dependent smoothing model. A high, theory-like tool influence function and a limiting toolspeed of 300 RPM were obtained.

关键词： optics design and fabrication optics fabrication polishing

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