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Experimental setup for the Investigation of Reproducibility of Novel Tool Changing Systems in Nanofabrication Machines
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Nanomanufacturing and Metrology 2021年 第3期4卷 181-189页
作者: Florian Weigert Roman Hebenstreit Roland FuBl Rene Theska Institute for Design and Precision Engineering Precision Engineering GroupTechnische Universitat IlmenauGustav-Kirchhoff-Platz.298693 IlmenauGermany Institute for Process measurement and Sensor Technology Technische Universitat IlmenauGustav-Kirchhoff-Str.198693 IlmenauGermany
Nanomeasuring machines developed at the Technische Universitat Ilmenau enable three-dimensional measurements and manufacturing processes with the lowest *** to the requirements for these processes,a highly reproducibl... 详细信息
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