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Preparation and characterization of Pd-Ag alloy composite membrane with magnetron sputtering

Science China Chemistry 1999年第6期42卷 581-588页

作者：赵宏宾熊国兴 N.Stroh h.Brunner Fraunhofer Institute of Interfacial Engineering and Biotechnology Nobelstrasse 12 D-70569 Stuttgart Germany Germany

A Pd-Ag (24 wt%) alloy composite membrane was prepared by the magnetron sputtering. A γ-A1203 membrane was synthesized by the sol-gel method and used as substrate of the Pd-Ag alloy film. The process parameters of the magnetron sputtering were optimized as a function of the compactness of the Pd-Ag alloy film. The best membrane with a thickness of 1 μm was produced with a sputtering pressure of 2.7 Pa and a substrate temperature of 400°C. The membrane had an h2/N2 permselectivity of 51.5-1000 and an h, permeation rate of 0.036-1.17 x 10-5cm3/cm2.s. Pa, depending on operating conditions.

关键词： Pd-Ag membrane A1203 membrane sol-gel sputtering h2 separation

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