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Direct fabrication of flexible tensile sensors enabled by polariton energy transfer based on graphene nanosheet films

引用

Nanotechnology and Precision Engineering 2023年第1期6卷 1-11页

作者： Xi Zhang Junchi Ma Wenhao Huang Jichen Zhang Chaoyang Lyu Yu Zhang Bo Wen Xin Wang Jing Ye Dongfeng Diao College of Mechatronics and Control Engineering Shenzhen UniversityShenzhen 518060China Research Center of Medical Plasma Technology Shenzhen UniversityShenzhen 518060China Shenzhen Milebot Robotics Co. Ltd.Shenzhen 518060China

A fundamental problem in the direct manufacturing of flexible devices is the low melting temperature of flexible substrates,which hinders the development of flexible *** here is an electron-cyclotron-resonance sputtering system that can batch-fabricate devices directly on flexible substrates under a low temperature by virtue of the polariton energy transfer between the plasma and the *** graphene nanosheet-embedded carbon(F-GNEC)films are manufactured directly on polyimide,polyethylene terephthalate,and polydimethylsiloxane,and how the substrate bias(electron energy),microwave power(plasma flux and energy),and magnetic field(electron flux)affect the nanostructure of the F-GNEC films is investigated,indicating that electron energy and flux contribute to the formation of standing graphene nanosheets in the *** films have good uniformity of distribution in a large size(17 mm×17 mm),and tensile and angle sensors with a high gauge factor(0.92)and fast response(50 ms)for a machine hand are obtained by virtue of the unique nanostructure of the F-GNEC *** work sheds light on the quantum manufacturing of carbon sensors and its applications for intelligent machine hands and virtual-reality technology.

关键词： Direct flexible fabrication graphene nanosheets film Polariton energy transfer Flexible sensor Quantum manufacturing

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