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crystal structure during film formation

Journal of Materials Science & Technology 1994年第2期10卷 117-120页

作者： Guoping DU Hui SHEN Lanping YUE Weiguo YAO Zongquan LI and Zhenzhong QI (Institute of Solid State Physics, Academia Sinica, Hefei, 230031, China)(To whom correspondence should be addressed) Acad Sinica Hefei China

For evaporation-deposited Ti films, face-centred cubic structure was observed at the initial stage of film growth, then transited to the hexagonal close-packed structure during film growing (less than 50 nm thick). While. for ion-beam sputter-deposited films. the structure of films always kept the fcc structure during all stages of film formation. The structure of film at initial growth stages relates with the substrate. It is discussed that different film processes and different growth stages provide different thermodynamic condition of film formation and result in the different crystal structures of films during the film formation

关键词： NaCl crystal structure during film formation nm

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