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功能材料 2004年第z1期35卷 1193-1195页

作者：张津重庆工学院材料科学与工程学院重庆400050

利用射频反应溅射法在玻璃衬底上在Ar和o2气氛中从Cd-In合金靶上制备出了cdin2o4薄膜.实验结果表明退火处理对cdin2o4薄膜的光电性质有重要的影响.退火处理进一步降低了cdin2o4膜的电阻率,在可见光区域内该膜的最高光透射率超过了90%.... 详细信息

利用射频反应溅射法在玻璃衬底上在Ar和o2气氛中从Cd-In合金靶上制备出了cdin2o4薄膜.实验结果表明退火处理对cdin2o4薄膜的光电性质有重要的影响.退火处理进一步降低了cdin2o4膜的电阻率,在可见光区域内该膜的最高光透射率超过了90%.研究还发现cdin2o4膜电阻在Co气氛中十分敏感的发生变化,并且提高温度和在膜上生长不连续的Pt粒子可进一步增强气敏特性.实验研究还表明cdin2o4膜气敏传感器响应时间比通用的气敏元件快得多.

关键词： cdin2o4薄膜退火处理电阻率气敏性

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cdin2o4薄膜性质及其应用研究

CdIn2O4薄膜性质及其应用研究

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第五届中国功能材料及其应用学术会议

作者：张津重庆工学院材料科学与工程学院

利用射频反应溅射法在玻璃衬底上在Ar和o2气氛中从Cd-In合金靶上制备出了cdin2o4薄膜。实验结果表明退火处理对cdin2o4薄膜的光电性质有重要的影响。退火处理进一步降低了cdin2o4膜的电阻率,在可见光区域内该膜的最高光透射率超过了90%... 详细信息

利用射频反应溅射法在玻璃衬底上在Ar和o2气氛中从Cd-In合金靶上制备出了cdin2o4薄膜。实验结果表明退火处理对cdin2o4薄膜的光电性质有重要的影响。退火处理进一步降低了cdin2o4膜的电阻率,在可见光区域内该膜的最高光透射率超过了90%。研究还发现cdin2o4膜电阻在Co气氛中十分敏感的发生变化,并且提高温度和在膜上生长不连续的Pt粒子可进一步增强气敏特性。实验研究还表明cdin2o4膜气敏传感器响应时间比通用的气敏元件快得多。

关键词： cdin2o4薄膜退火处理电阻率气敏性

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基片温度和退火对cdin_2o_4薄膜光学性质和载流子浓度的影响

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光学学报 2002年第11期22卷 1291-1295页

作者：李斌曾菱张凤山中国科学院上海技术物理研究所上海200083 公安海警高等专科学校宁波315821

对射频反应性溅射Cd In合金靶制备的透明导电cdin2 o4薄膜 ,研究了基片温度及沉积后在氩气流中退火对薄膜的透射、反射和吸收光谱 ,光学常数和载流子浓度的影响。结果表明 :提高基片温度减少了薄膜的载流子浓度 ,退火增加了薄膜的载流... 详细信息

对射频反应性溅射Cd In合金靶制备的透明导电cdin2 o4薄膜 ,研究了基片温度及沉积后在氩气流中退火对薄膜的透射、反射和吸收光谱 ,光学常数和载流子浓度的影响。结果表明 :提高基片温度减少了薄膜的载流子浓度 ,退火增加了薄膜的载流子浓度。随着基片温度提高 ,薄膜折射率n和消光系数κ的短波峰将逐渐蓝移 ,而退火使其出现红移。基片温度和退火对薄膜光学常数的影响与其对薄膜载流子浓度的影响是一致的。在制备cdin2 o4这样一种对于沉积方法和沉积条件极为敏感的透明导电薄膜的沉积过程中 ,这一现象对于实时监控具有极为重要的意义。

关键词： cdin2o4薄膜基片温度退火光学性质载流子浓度透明导电三元金属氧化物薄膜

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cdin_2o_4薄膜气敏特性的研究

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广西师范大学学报（自然科学版） 2000年第S2期18卷 4-7页

作者：董玉峰廖克俊王万录王蜀霞重庆大学应用物理系重庆400044

在 Ar+o2 混合气体中用射频反应性溅射方法制备了纯的和 Pt掺杂的 Cd In2 o4薄膜 ,用 XRD,AES等方法分析了薄膜的结构和化学成分 .测试了两种薄膜对酒精气体的气敏特性 ,包括灵敏度随温度、气体浓度的变化以及传感器元件的响应曲线 ,并... 详细信息

在 Ar+o2 混合气体中用射频反应性溅射方法制备了纯的和 Pt掺杂的 Cd In2 o4薄膜 ,用 XRD,AES等方法分析了薄膜的结构和化学成分 .测试了两种薄膜对酒精气体的气敏特性 ,包括灵敏度随温度、气体浓度的变化以及传感器元件的响应曲线 ,并对气敏机理进行了讨论 .

关键词：射频反应性溅射 cdin2o4薄膜气敏特性

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一种新型保温薄膜材料——cdin_2o_4的研究

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稀有金属材料与工程 2002年第1期31卷 73-75页

作者：王蜀霞王万录廖克俊重庆大学重庆400044

研究了射频反应溅射三元化合物 Cd In2 o4 薄膜的电学和光学性质 ,讨论了反应气体中氧气浓度和热处理对Cd In2 o4 薄膜红外反射率的影响 ,实验结果表明 ,Cd In2 o4 薄膜在红外区域具有很高的反射率 ,是一种极好的红外反射膜。用它作为... 详细信息

研究了射频反应溅射三元化合物 Cd In2 o4 薄膜的电学和光学性质 ,讨论了反应气体中氧气浓度和热处理对Cd In2 o4 薄膜红外反射率的影响 ,实验结果表明 ,Cd In2 o4 薄膜在红外区域具有很高的反射率 ,是一种极好的红外反射膜。用它作为冰箱内保温膜和室内及冷库保温窗玻璃 ,效果十分明显。

关键词：光电特性 cdin2o4薄膜射频反应溅射保温膜冰箱冷库

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透明导电cdin204薄膜加磁Seebeck效应的研究

透明导电CdIn204薄膜加磁Seebeck效应的研究

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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议

作者：杨丰帆王万录廖克俊付光宗重庆大学应用物理系

cdin2o4(简称CIL膜)是一种n型宽带隙简并化氧化物半导体三元化合物薄膜材料。它具有许多优异的光学和电学性质,如它在可见光范围内的透光率高达91.7%,而电阻率却低于10-4Ωcm,并且该膜具有红外高反射率、耐磨性以及稳定的化学性能使其... 详细信息

cdin2o4(简称CIL膜)是一种n型宽带隙简并化氧化物半导体三元化合物薄膜材料。它具有许多优异的光学和电学性质,如它在可见光范围内的透光率高达91.7%,而电阻率却低于10-4Ωcm,并且该膜具有红外高反射率、耐磨性以及稳定的化学性能使其具有广泛的应用前景:如可应用于制造建筑玻璃、光电器件、保温薄膜材料、电致变色器件,从而引起了人们的极大兴趣。我们利用了直流磁控反应溅射法在Ar和o2混合气氛中从Cd-In合金靶上制备了CIo薄膜,并测量了CIo薄膜由温差所产生的Seebeck效应,温差电动势率最高值达0.16mv/k;在薄膜垂直方向上加入磁场,从而改变了载流子--电子在薄膜内部的运动路径,使其原来电子的运动路径呈直线,由于加入磁场,薄膜内部的电子将受到洛仑兹力而发生偏转,而以螺旋线的方式前进,导致薄膜两端的温差电动势增大,从而进一步提高了CIo薄膜的温差电动势率,得到更加明显的加磁Seebeck效应,这在实际应用于热能和电能的转换上,以及温差发电和温差制冷方面有参考价值。本文从实验和理论上作了详细的探讨。

关键词： cdin2o4薄膜磁控溅射温差电动势率 Seebeck效应

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