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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...

主题

  • 1 篇 薄膜粗糙度
  • 1 篇 cvd沉积工艺
  • 1 篇 x-射线光刻掩模
  • 1 篇 薄膜应力
  • 1 篇 金刚石薄膜

机构

  • 1 篇 四川大学

作者

  • 1 篇 万静
  • 1 篇 立
  • 1 篇 冉均国

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=CVD沉积工艺"
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排序:
金刚石膜同步辐射X-射线掩模的研究进展
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四川师范大学学报(自然科学版) 2001年 第6期24卷 618-621页
作者: 万静 立 冉均国 四川大学无机非金属材料系
超大规模集成电路 (VLSI)线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高 ,缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径 .探索采用X 射线光刻技术时 ,用金刚石薄膜作为掩模基膜的研究现状与发展方向 .金刚石薄膜因其具有优异的机械... 详细信息
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