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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 航空宇航科学与技...

主题

  • 2 篇 1066 nm光纤激光器...
  • 1 篇 裸硅晶圆
  • 1 篇 ocr读码
  • 1 篇 晶圆
  • 1 篇 激光标识
  • 1 篇 镀膜晶圆

机构

  • 2 篇 上海激光直接物标...
  • 2 篇 上海市激光技术研...
  • 1 篇 东华大学
  • 1 篇 上海集成电路研发...

作者

  • 2 篇 张玲玲
  • 2 篇 杜远超
  • 1 篇 李国旗
  • 1 篇 高垠芮
  • 1 篇 胡豪威
  • 1 篇 杨文杰
  • 1 篇 马永新
  • 1 篇 陈媛
  • 1 篇 舒天娇
  • 1 篇 陈宇
  • 1 篇 周伟

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=1066 nm光纤激光器"
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基于1066 nm光纤激光对裸硅晶圆与镀膜晶圆的标识工艺研究
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应用激光 2023年 第4期43卷 100-105页
作者： 舒天娇 张玲玲 杜远超 李国旗 陈媛 周伟 马永新 高垠芮 胡豪威 陈宇 上海市激光技术研究所 上海200233 上海激光直接物标溯源工程技术研究中心 上海200233 上海集成电路研发中心有限公司 上海200233 东华大学理学院 上海201620
针对SEMI标准对12寸(约300 mm)薄晶圆标识的要求,采用1066 nm光纤激光晶圆标识系统对裸硅晶圆与镀膜晶圆进行激光标识工艺的研究。通过控制变量法改变激光器的功率百分比,分别在两种晶圆上标记Dot样式的SEMI字体,并对标识的质量和识读... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
1066 nm光纤激光对晶圆标识的工艺研究
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应用激光 2023年 第2期43卷 88-92页
作者： 杜远超 张玲玲 杨文杰 上海市激光技术研究所 上海200233 上海激光直接物标溯源工程技术研究中心 上海200233
利用1 066 nm光纤激光晶圆标识系统开展晶圆标识工艺的研究,通过控制变量法分别改变占空比、脉宽在晶圆表面标识SEMI T7码,利用数码显微系统进行Dot形貌评估,采用读码器进行读码测试。结果表明,1 066 nm波长激光标识晶圆时有较宽的工艺... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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