检索结果-南通市图书馆

概述了高纯电子气体中金属杂质的来源及测定高纯气体中金属粒子的前处理方法和检测手段。选定检测手段从最初的单一仪器检测逐渐过渡到仪器间的联合检测。选用合适的检测方法,满足痕量杂质(10-9级)、复杂组分的分析要求。这样能更精准的检测出更多金属种类。不仅提供对半导体生产中沾污的测试手段,而且对高纯气体的生产、包装等具有非常重要的意义。

关键词：高纯气体金属粒子检测方法

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特种气体中单元高纯气体的品种及用途(续)

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低温与特气 1987年第1期5卷 33-33页

作者：薛鸿堡北京特种气体研究所

本刊1983年No.4刊载了“特种气体中单元高纯气体的品种及用途”一文,时隔三年,作者又收集到20多种纯气,现予补充。

关键词：高纯气体特种气体品种单元

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一种电子级高纯气体输送用管道阀门

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低温与特气 2020年第6期38卷 4-4页

申请(专利)号:CN202020060118.4,公开(公告)日:2020-10-27,申请(专权)人:苏州锐泽系统工程有限公司,摘要:本实用新型公开了一种电子级高纯气体输送用管道阀门,包括阀体本体,阀体本体内设有阀瓣,阀瓣上端固定连接有阀杆,阀体本体内设有... 详细信息

申请(专利)号:CN202020060118.4,公开(公告)日:2020-10-27,申请(专权)人:苏州锐泽系统工程有限公司,摘要:本实用新型公开了一种电子级高纯气体输送用管道阀门,包括阀体本体,阀体本体内设有阀瓣,阀瓣上端固定连接有阀杆,阀体本体内设有插槽。本实用新型通过阀体本体进气时带动阀杆向插槽内移动,使得阀杆带动第一密封环和密封垫在插槽内滑动,并压缩若干第一弹簧,使得圆形板配合转动连接的两块连接块带动活动块在限位杆上移动,并压缩第二弹簧,进而有效对阀杆进行缓冲保护,延长阀杆的使用寿命,通过将环形固定板插设于阀体本体连接口处的圆形槽内,使用若干螺栓沿着环形固定板的环形侧壁将其固定在圆形槽内,此时环形固定板上的两个橡胶制品第二密封环能够有效对阀体本体连接口处进行密封,提升阀体本体连接口处的密封效果。

关键词：实用新型高纯气体管道阀门密封环橡胶制品阀杆阀体系统工程

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高纯度气体

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低温与特气 1991年第3期 82-82页

作者：赵铁军

日本富士通电气公司选择了BOC为其在英格兰东北部的新半导体厂提供高纯气体。 BOC以电子工业为目标,在Imming-ham,South Humberside 用1600万英磅建座气体厂,同时,靠近格拉斯哥的马瑟威尔市用800万英磅建立的气体厂也已交付使用。BOC供... 详细信息

日本富士通电气公司选择了BOC为其在英格兰东北部的新半导体厂提供高纯气体。 BOC以电子工业为目标,在Imming-ham,South Humberside 用1600万英磅建座气体厂,同时,靠近格拉斯哥的马瑟威尔市用800万英磅建立的气体厂也已交付使用。BOC供应的气体约占全球气体市场的30％。达勒姆郡 Newton Aycliffe的富士通工厂将生产一种新型存储器芯片,BOC将为其充分提供纯度接近99.99999％(包括硅烷、磷烷和氯化氢)的气体。

关键词： BOC 电子轻子高纯气体富士通

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