高纯电子气体中金属杂质分析方法概述
作者机构：贵州理工学院化学工程学院贵州贵阳550003
出 版 物：《化工管理》 (Chemical Engineering Management)
年 卷 期：2015年第21期
页 面：68-68,70页
学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学]
基 金：贵州理工学院自然科学基金项目
摘 要：本文概述了高纯电子气体中金属杂质的来源及测定特种气体中金属粒子的前处理方法和检测手段。选定检测手段从最初的单一仪器检测逐渐过渡到仪器间的联合检测。
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