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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

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  • 2 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 材料科学与工程（可...
    • 2 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 2 篇 零宽度线曝光
  • 1 篇 电子束光刻(ebl)
  • 1 篇 高分辨率光刻
  • 1 篇 密集线图形
  • 1 篇 近邻效应
  • 1 篇 隧穿势垒
  • 1 篇 单电子晶体管
  • 1 篇 邻近效应
  • 1 篇 太赫兹单光子探测...

机构

  • 1 篇 国防科学技术大学
  • 1 篇 湛江师范学院
  • 1 篇 中国科学院微电子...
  • 1 篇 上海大学
  • 1 篇 中国科学院苏州纳...

作者

  • 1 篇 刘永涛
  • 1 篇 赵珉
  • 1 篇 刘桂英
  • 1 篇 李欣幸
  • 1 篇 牛洁斌
  • 1 篇 秦华
  • 1 篇 张志鹏
  • 1 篇 方靖岳
  • 1 篇 俞圣雯
  • 1 篇 陈宝钦

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=零宽度线曝光"
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电子束零宽度线曝光及其应用
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微纳电子技术 2013年 第2期50卷 106-111页
作者： 赵珉 刘桂英 陈宝钦 牛洁斌 湛江师范学院信息科技与技术学院 广东湛江524048 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室 北京100029
为了提高电子束光刻的图形质量及光刻分辨率,从入射束能和束流密度等方面探讨了克服邻近效应影响的途径,在制备亚30 nm结构图形时采用零宽度线曝光的方法。该方法把版图上线条的宽度设为零,因此该线条的光刻尺寸取决于电子束束斑大小、... 详细信息
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太赫兹探测器读出电路的单电子晶体管制备
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太赫兹科学与电子信息学报 2017年 第1期15卷 15-20页
作者： 刘永涛 李欣幸 张志鹏 方靖岳 秦华 俞圣雯 上海大学材料科学与工程学院 上海200444 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室 江苏苏州215123 国防科学技术大学理学院 湖南长沙410073
射频单电子晶体管具有高电荷灵敏度和高读出速率的特点,可用于超导太赫兹单光子探测器产生的微弱电荷信号的读出。采用绝缘体上硅(SOI)材料制备的硅基单电子晶体管具有结构可控、工艺可重复的优点。但是,目前单电子晶体管的成品率约为3... 详细信息
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