检索结果-南通市图书馆

基于分枝搜索的带缓冲集束型设备调度与性能分析

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自动化学报 2016年第1期42卷 81-88页

作者：高忠顺周炳海同济大学机械与能源工程学院上海201804

针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了一种全局搜索算法;然后,通过数学分析证明引出必要的引理,提出一个基于分枝搜索的算法;最后,进行了仿真... 详细信息

针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了一种全局搜索算法;然后,通过数学分析证明引出必要的引理,提出一个基于分枝搜索的算法;最后,进行了仿真实验和分析,结果表明本文提出的算法是有效且可行的,同时还表明了带缓冲模块的集束型设备在一定程度上能提高集束型设备的产能.

关键词：集束型设备缓冲模块驻留约束调度分枝搜索

带并行腔和重入约束的双臂集束型设备调度方法

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工程科学学报 2016年第8期38卷 1190-1195页

作者：周炳海黎明苏谊同济大学机械与能源工程学院上海201804

为有效解决半导体制造业中带并行腔和重入约束的双臂集束型设备调度问题,提出一种以优化搜索为核心的调度方法.首先,引入优化FIFO(first in first out)搜索规则,并以系统总完工时间最小化作为目标,建立带并行腔和重入约束的四加工腔双... 详细信息

为有效解决半导体制造业中带并行腔和重入约束的双臂集束型设备调度问题,提出一种以优化搜索为核心的调度方法.首先,引入优化FIFO(first in first out)搜索规则,并以系统总完工时间最小化作为目标,建立带并行腔和重入约束的四加工腔双臂集束型设备调度数学模型.在此基础之上,结合虚拟缓冲模块的概念,提出一种基于机械臂交换策略的优化搜索算法.最后,对所提出的算法进行仿真实验,实验结果表明该算法是可行且有效的.

关键词：调度方法集束型设备并行腔重入

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带驻留与重入约束的集束型设备调度算法

计算机集成制造系统 2012年第12期18卷 2667-2673页

作者：陈佳周炳海同济大学机械工程学院上海201804

为有效地解决集束型设备加工过程中存在的驻留与重入约束问题,构建了带驻留与重入约束的集束型设备调度算法。首先进行调度问题域的描述,以系统Makespan最小为优化目标,建立了数学模型。在此基础上,提出一种搜索可行机械手运行路径的调... 详细信息

为有效地解决集束型设备加工过程中存在的驻留与重入约束问题,构建了带驻留与重入约束的集束型设备调度算法。首先进行调度问题域的描述,以系统Makespan最小为优化目标,建立了数学模型。在此基础上,提出一种搜索可行机械手运行路径的调度方法,结合驻留与重入约束的特征,构建了三个加工腔的集束型设备调度启发式算法。最后对算法进行了仿真实验,结果表明了该算法的有效性和可行性。

关键词：集束型设备调度驻留约束重入总完工时间

基于Markov链的集束型晶圆制造设备预防性维护建模

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上海交通大学学报 2008年第10期42卷 1622-1626页

作者：周炳海何平潘尔顺奚立峰上海交通大学机械与动力工程学院上海200240

为了有效提高集束型晶圆制造设备的运行可靠性,同时降低其维护成本,提出了基于Markov链的预防性维护建模方法.根据集束型晶圆制造设备的特点,将设备使用情形分为运行状态、预防性保养状态、保养未能回复状态、预防性维修状态和维修无法... 详细信息

为了有效提高集束型晶圆制造设备的运行可靠性,同时降低其维护成本,提出了基于Markov链的预防性维护建模方法.根据集束型晶圆制造设备的特点,将设备使用情形分为运行状态、预防性保养状态、保养未能回复状态、预防性维修状态和维修无法回复状态,建立了设备状态转移模型.在此基础上,建立了集束型晶圆制造设备的预防性维护成本模型,进行了仿真实验分析.结果表明,该模型可有效分析不同参数组合下的单位时间预防性维护期望成本.

关键词：集束型设备晶圆马尔可夫链预防性维护

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基于事件驱动的集束型晶圆制造设备调度算法

上海交通大学学报 2009年第6期43卷 898-901页

作者：李鑫周炳海陆志强上海交通大学动力机械与工程学院上海200240

为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对... 详细信息

为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效且实用.

关键词：集束型设备时间约束实时调度重入流仿真实验

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集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制

真空科学与技术学报 2020年第11期40卷 1096-1102页

作者：杨胜夏洋兰丽丽陶晓俊冯嘉恒明帅强卢维尔屈芙蓉刘涛中国科学院微电子研究所仪器设备研发中心北京100029 中国科学院大学北京100049 嘉兴科民电子设备技术有限公司嘉兴314006

运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的... 详细信息

运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的机械手结构,实现了样品在高真空(5×10^-5 Pa)中传输,而且传输速度快(2~3 s),有效地减少污染,保证样品表面物性的稳定。设备可在全真空的环境下,实现多层纳米薄膜的制备,同时可以对薄膜生长实现原子层精度的控制。设备的磁控溅射工艺平台可以安装金属掩膜板,直接制备图形薄膜。另外设备具有非常灵活的扩展性,针对薄膜工艺需求的不同,可以集成其他的薄膜制备工艺单元。

关键词：原子层沉积磁控溅射薄膜制备集束型设备

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集束型半导体制造设备的预防维修计划优化

半导体技术 2005年第11期30卷 39-42页

作者：厉红钱省三浙江理工大学机械与自动控制学院杭州310018 上海理工大学管理学院上海200093

研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了... 详细信息

研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了用遗传算法求解模型的方法,最后以一个实例及运行结果说明了研究的实用性。

关键词：集束型设备预防维修计划优化遗传算法