基于事件驱动的集束型晶圆制造设备调度算法
Scheduling Algorithm for Cluster Tools of Wafer Fabrications Based on Events-Driven作者机构：上海交通大学动力机械与工程学院上海200240
出 版 物：《上海交通大学学报》 (Journal of Shanghai Jiaotong University)
年 卷 期：2009年第43卷第6期
页 面：898-901页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家自然科学基金资助项目(60574054 70771065) 上海市浦江人才计划资助项目(07PJ14052)
摘 要：为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效且实用.
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