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  • 1 篇 氮化镓

机构

  • 1 篇 南昌大学

作者

  • 1 篇 江风益
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  • 1 篇 姚冬敏
  • 1 篇 李述体
  • 1 篇 熊传兵
  • 1 篇 彭学新
  • 1 篇 王立
  • 1 篇 辛勇
  • 1 篇 李鹏

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气流混合对生长GaN∶Si膜性能影响的研究
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光学学报 2002年 第2期22卷 181-185页
作者： 莫春兰 李鹏 王立 熊传兵 彭学新 辛勇 姚冬敏 李述体 江风益 南昌大学材料科学研究所 南昌330047
用金属有机化学气相沉积技术在三种不同型号的反应管中生长了GaN∶Si膜。通过对样品的光电及结晶性能的分析 ,研究了气流混合时间不同对GaN∶Si膜性质的影响。结果表明 :合理的Ⅲ、Ⅴ族气流混合对提高GaN∶Si膜的光电及结晶性能很重要... 详细信息
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