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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电气工程

主题

  • 1 篇 巨磁电阻
  • 1 篇 金属掩膜技术
  • 1 篇 磁控溅射
  • 1 篇 扫描电镜
  • 1 篇 cu/co纳米薄膜

机构

  • 1 篇 黑龙江大学

作者

  • 1 篇 温殿忠

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=金属掩膜技术"
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自旋阀多层膜巨磁电阻的研制
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传感技术学报 2006年 第5B期19卷 2050-2053,2056页
作者： 温殿忠 黑龙江大学集成电路重点实验室
阐述了多层膜巨磁电阻自旋阀的设计原理和采用金属掩膜版磁控溅射的方法研制多层膜巨磁电阻自旋阀的工艺.制造的多层膜巨磁电阻采用[Co/Cu/Co]三重结构.同时分析了制备的Cu、Co纳米膜的形貌以及利用自旋阀GMR传感器测试得到的实验校准... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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