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难熔金属硅化物及多层难熔金属化系统研究

半导体杂志 1992年第4期17卷 1-9页

作者：黄廷荣

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半导体器件中金属化系统的失效模式

甘肃科技纵横 2006年第6期35卷 48-48,16页

作者：蒲耀川天水天光半导体有限责任公司甘肃天水741000

阐述了半导体器件中金属化系统的失效模式和机理,提出了为消除金属化系统失效模式和提高金属化系统可靠性而采取的措施。

关键词：金属化系统可靠性失效模式电迁移

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微电子器件金属化系统失效的电子显微分析

电子显微学报 1990年第3期9卷 150-150页

作者：吉元徐学东张炜程尧海李学信北京工业大学显微分析中心北京工业大学半导体器可靠性物理研究室

随着微电子器件向着超高频,超高速和高集成度化方向发展,电徒动引起的器件金属化系统失效问题变得日益突出。所谓电徒动是指高电流密度作用下,金属导体中发生质量输运的现象。电徒动使器件的内部金属化系统条状铝薄膜上出现小丘。晶须(... 详细信息

随着微电子器件向着超高频,超高速和高集成度化方向发展,电徒动引起的器件金属化系统失效问题变得日益突出。所谓电徒动是指高电流密度作用下,金属导体中发生质量输运的现象。电徒动使器件的内部金属化系统条状铝薄膜上出现小丘。晶须(质量堆积)和空洞(质量耗尽)现象,造成短路和开路失效。本文叙述了AL-Cu金属化系统电徒动寿命的测试和电镜分析。从实验获得了在300C.氮气环境中,高电流密度(0.6×10~6和1.2×10~***^(-2)作用下的Al-Cu薄膜电阻随时间的变化率,并计算了薄膜中值电徒动失效前的时间。用SEM和TEM观察和分析了钝化层覆盖效应。

关键词：微电子器件金属化系统失效分析

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应用材料公司推出全新光伏金属化系统

太阳能 2015年第5期 10-10页

应用材料公司领先的光伏生产解决方案一直伴随中国光伏产业的成长，在一年一度的SNEC展会上，它又会带来什么创新性产品？这的确令笔者充满期待。光伏发电实现平价上网是大家追求的理想目标，此目标的实现离不开光伏产业链各环节成本的... 详细信息

应用材料公司领先的光伏生产解决方案一直伴随中国光伏产业的成长，在一年一度的SNEC展会上，它又会带来什么创新性产品？这的确令笔者充满期待。光伏发电实现平价上网是大家追求的理想目标，此目标的实现离不开光伏产业链各环节成本的降低，而不断提高转换效率、提高生产效率和成品率则是太阳电池制造商永恒的追求。

关键词：应用材料公司光伏产业金属化系统生产效率光伏发电转换效率太阳电池产业链

晋能清洁能源科技有限公司采用应用材料公司的全新金属化系统,快速实现量产

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电子工业专用设备 2015年第5期44卷 64-64页

应用材料公司日前宣布,晋能清洁能源科技有限公司（以下简称＂晋能＂）选用其全新Tempo TM金属化系统,通过低拥有成本、高产能的解决方案实现高效电池的制造。Tempo系统旨在推进先进电池制造技术的发展,支持应用材料公司独一无二的Fine ... 详细信息

应用材料公司日前宣布,晋能清洁能源科技有限公司（以下简称＂晋能＂）选用其全新Tempo TM金属化系统,通过低拥有成本、高产能的解决方案实现高效电池的制造。Tempo系统旨在推进先进电池制造技术的发展,支持应用材料公司独一无二的Fine Line Double PrintTM（细线二次印刷,FLDP）技术,进而帮助客户增加产品的太阳能转换效率并提高良率。

关键词：应用材料公司金属化系统能源科技快速实现 Tempo 制造技术 Line 二次印刷