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  • 1 篇 理学
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    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 小孔扫描
  • 1 篇 光强
  • 1 篇 小光斑
  • 1 篇 近场光学显微镜光...
  • 1 篇 高空分辨率
  • 1 篇 大数值孔径光学系...

机构

  • 1 篇 中国科学院上海光...

作者

  • 1 篇 徐文东
  • 1 篇 干福熹

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=近场光学显微镜光纤探针"
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测量大数值孔径光学系统小光斑的方法
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中国激光 2003年 第2期30卷 171-174页
作者： 徐文东 干福熹 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800
介绍了一种小孔扫描测量大数值孔径光学系统小光斑的方法。利用近场光学显微镜的光纤探针采样技术和压电陶瓷扫描技术 ,可对光学系统小光斑的光强分布进行高空间分辨的测量。由于光纤探针采样点的大小为几十纳米或更小 ,压电陶瓷扫描间... 详细信息
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