测量大数值孔径光学系统小光斑的方法

作     者：徐文东 干福熹 XU Wen dong, GAN Fu xi (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, The Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China)

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2003年第30卷第2期

页      面：171-174页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

主　　题：小光斑 近场光学显微镜光纤探针 大数值孔径光学系统 小孔扫描 光强 高空分辨率 

摘      要：介绍了一种小孔扫描测量大数值孔径光学系统小光斑的方法。利用近场光学显微镜的光纤探针采样技术和压电陶瓷扫描技术 ,可对光学系统小光斑的光强分布进行高空间分辨的测量。由于光纤探针采样点的大小为几十纳米或更小 ,压电陶瓷扫描间距为几纳米或更小 ,因此该方法特别适合大数值孔径光学系统小光斑的测量。实验证明 ,采用该方法 ,测量的空间分辨率可达 5 0～ 10 0nm左右。