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软x射线绝对光强测量系统及其标定

高能物理与核物理 1998年第2期22卷 180-185页

作者：崔聪悟崔明启易荣清中国科学院高能物理研究所中国工程物理研究院核物理与化学所

详细介绍了软Ｘ射线绝对光强测量系统的设计和结构及其标定的情况和结果，测量系统包括电离室、监测（或待标定）探测器及其传动系统两部分，可作为５０－２０００ｅＶ软Ｘ射线绝对强度测量的一级标准探测器。并给出了系统的偏差。

关键词：软x射线绝对光强测量电离室标定 x射线

软x射线全息平焦场光栅的条纹弯曲现象及其对光谱分辨率的影响

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物理学报 2014年第23期63卷 183-188页

作者：陈火耀刘正坤王庆博易涛杨国洪洪义麟付绍军中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029 中国工程物理研究院激光聚变研究中心绵阳621900

软x射线平焦场光栅光谱仪是等离子体诊断的重要仪器,其核心光学元件全息平焦场光栅通常采用非球面波记录光路制作,因此光栅条纹存在弯曲的现象.光栅条纹的弯曲会影响光谱成像质量,从而影响系统的光谱分辨率.记录光路的优化,只保证光栅... 详细信息

软x射线平焦场光栅光谱仪是等离子体诊断的重要仪器,其核心光学元件全息平焦场光栅通常采用非球面波记录光路制作,因此光栅条纹存在弯曲的现象.光栅条纹的弯曲会影响光谱成像质量,从而影响系统的光谱分辨率.记录光路的优化,只保证光栅子午面的线密度分布,因此优化的记录光路并不是惟一的,所以在保证子午面的线密度分布的同时能制作具有不同弯曲程度条纹的光栅.针对应用于0.8—6 nm的全息平焦场光栅,利用光线追迹方法分析了不同弯曲程度条纹光栅的光谱成像,发现采用柱面反射镜制作的接近于直条纹的光栅具有较好的光谱成像质量.相对于弯曲条纹的光栅,接近于直条纹的光栅理论光谱分辨率有明显的提高,入射波长为3 nm时,光谱分辨率从626提升到953,入射波长为5 nm时,光谱分辨率从635提高到1222.

关键词：软x射线平焦场光栅条纹弯曲光谱分辨率

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软x射线投影光刻技术

强激光与粒子束 2000年第5期12卷 559-564页

作者：金春水王占山曹健林中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130022

软 x射线投影光刻作为特征线宽小于 0 .1μm的集成电路制造技术 ,倍受日美两个集成电路制造设备生产大国重视。随着用于软 x射线投影光刻的无污染激光等离子体光源、高分辨率大视场投影光学系统、无应力光学装调工艺、深亚纳米级镜面加... 详细信息

软 x射线投影光刻作为特征线宽小于 0 .1μm的集成电路制造技术 ,倍受日美两个集成电路制造设备生产大国重视。随着用于软 x射线投影光刻的无污染激光等离子体光源、高分辨率大视场投影光学系统、无应力光学装调工艺、深亚纳米级镜面加工和多层膜制备、低缺陷反射式掩模、表面成像光刻胶。

关键词：软x射线投影光剂集成电路

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软x射线辐射加热金盘靶的x射线再发射

物理学报 1998年第1期47卷 40-46页

作者：孙可煦郑志坚易荣清丁永坤丁耀南崔延莉唐道源西南核物理与化学研究所

用两台时间关联的软Ｘ射线能谱仪观测软Ｘ射线辐射（（２—６）×１０１２Ｗ·ｃｍ－２）加热金盘靶的Ｘ射线再发射．从再发射Ｘ射线的时间能谱可看出能谱被“软”化．根据加热脉冲时间修正烧蚀热波的稳态自相似解，分析Ｘ射线再发射的... 详细信息

用两台时间关联的软Ｘ射线能谱仪观测软Ｘ射线辐射（（２—６）×１０１２Ｗ·ｃｍ－２）加热金盘靶的Ｘ射线再发射．从再发射Ｘ射线的时间能谱可看出能谱被“软”化．根据加热脉冲时间修正烧蚀热波的稳态自相似解，分析Ｘ射线再发射的时间演变过程．

关键词：惯性约束聚变软x射线金盘靶 x射线发射

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软x射线双频光栅剪切干涉法研究

物理学报 2013年第7期62卷 115-120页

作者：刘正坤邱克强陈火耀刘颖徐向东付绍军王琛安红海方智恒中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029 上海激光等离子体研究所上海201800

本文中设计了一种利用软x射线双频光栅作为剪切干涉元件的剪切系统,使剪切干涉法在软x射线波段得到了应用.介绍了软x射线双频光栅的结构及衍射特性,在同步辐射光束线对双频光栅的效率分布进行了测试实验,两个剪切级次的效率比值高于75%... 详细信息

本文中设计了一种利用软x射线双频光栅作为剪切干涉元件的剪切系统,使剪切干涉法在软x射线波段得到了应用.介绍了软x射线双频光栅的结构及衍射特性,在同步辐射光束线对双频光栅的效率分布进行了测试实验,两个剪切级次的效率比值高于75%,干扰级次效率低于5%.利用软x射线双频光栅为剪切干涉光学元件,对待测靶进行了静态检测,得到了对比度高,稳定的干涉条纹,验证了该方法在软x射线等离子体密度诊断中的可行性.

关键词：双频光栅剪切干涉仪软x射线等离子体诊断

软x射线Mo/B_4C多层膜应力和热稳定性研究

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强激光与粒子束 2015年第6期27卷 118-122页

作者：徐德超王海霞张众朱杰连玉红王占山同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室上海200092

为了实现7nm波段Mo/B4C多层膜反射镜元件的制备,研究了不同退火方式对Mo/B4C多层膜应力和热稳定性的影响。首先,采用直流磁控溅射方法分别基于石英和硅基板制作Mo/B4C多层膜样品,设计周期为3.58nm、周期数为60,Mo膜层厚度与周期的比值为... 详细信息

为了实现7nm波段Mo/B4C多层膜反射镜元件的制备,研究了不同退火方式对Mo/B4C多层膜应力和热稳定性的影响。首先,采用直流磁控溅射方法分别基于石英和硅基板制作Mo/B4C多层膜样品,设计周期为3.58nm、周期数为60,Mo膜层厚度与周期的比值为0.4。其次,采用不同的退火方式对所制作的样品进行退火实验,最高退火温度500℃。最后,分别采用x射线掠入射反射、x射线散射和光学干涉仪的方法对退火前后的Mo/B4C多层膜的周期、界面粗糙度和应力进行测试。测试结果表明采用真空退火方式能够有效降低Mo/B4C多层膜的应力,且退火前后Mo/B4C多层膜的周期和界面粗糙度无明显变化,证明Mo/B4C多层膜在500℃以内具有很好的热稳定性。

关键词：软x射线 Mo/B4C 直流磁控溅射应力热稳定性

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软x射线分光晶体琥珀酸十八酯的生长研究

人工晶体学报 2003年第5期32卷 438-441页

作者：高绍康陈建中庄乃峰关铁堂福州大学化学化工学院福州350002

本文合成了软x射线分光晶体材料琥珀酸十八酯(OSO),对其样品进行了表征和鉴定。对OSO在多种有机溶剂中的结晶性能进行了研究,结果表明在实验的几种有机溶剂中OSO的成核趋势很强,在甲苯和苯中具有较好的结晶特性。测定了OSO在苯和甲苯中... 详细信息

本文合成了软x射线分光晶体材料琥珀酸十八酯(OSO),对其样品进行了表征和鉴定。对OSO在多种有机溶剂中的结晶性能进行了研究,结果表明在实验的几种有机溶剂中OSO的成核趋势很强,在甲苯和苯中具有较好的结晶特性。测定了OSO在苯和甲苯中的溶解度曲线,并用溶液降温法进行了晶体生长的实验。

关键词：软x射线分光晶体琥珀酸十八酯晶体生长结晶习性

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软x射线多层膜与衰减膜研究

强激光与粒子束 2002年第3期14卷 385-388页

作者：王占山吴永刚唐伟星秦树基周斌陈玲燕同济大学物理系上海200092

采用随机数的方法 ,发展了一种普适的多层膜设计方法 ,这种方法除可设计一般的周期多层膜 ,更重要的是它可以根据选定的评价因子 ,设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软 x射线多层膜制备 ,x射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇... 详细信息

采用随机数的方法 ,发展了一种普适的多层膜设计方法 ,这种方法除可设计一般的周期多层膜 ,更重要的是它可以根据选定的评价因子 ,设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软 x射线多层膜制备 ,x射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性 ,所得结果说明多层膜的结构完整 ,周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软 x射线半反半透分束镜 ;分析了 Ag和 Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响 ,并对衰减系数进行了修正 ,为实验提供优质的衰减膜。

关键词：软x射线多层膜衰减膜随机数设计方法制备方法

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软x射线直线单色仪光场分布实验研究

物理学报 2000年第6期49卷 1043-1046页

作者：徐向东周洪军洪义麟霍同林陶晓明傅绍军中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029

合肥国家同步辐射光源软x射线直线单色仪配备三种不同参数的波带片和针孔光阑 ,通过调节波带片和针孔光阑间的距离可输出 1.97— 5 .44nm波段的软x射线 .利用高分辨正性光刻胶 ,记录了CZP32 和 30 μm针孔光阑组合下的准确聚焦和大离焦... 详细信息

合肥国家同步辐射光源软x射线直线单色仪配备三种不同参数的波带片和针孔光阑 ,通过调节波带片和针孔光阑间的距离可输出 1.97— 5 .44nm波段的软x射线 .利用高分辨正性光刻胶 ,记录了CZP32 和 30 μm针孔光阑组合下的准确聚焦和大离焦量时的软x射线衍射图 ,即直线单色仪输出的光场分布 .获得了有关爱里斑及空间相干半径等实验数据。

关键词：软x射线直线单色仪光场分布实验