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学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 增透保护膜
  • 1 篇 超硬非晶碳薄膜
  • 1 篇 激光烧蚀
  • 1 篇 红外增透膜

机构

  • 1 篇 湘潭大学

作者

  • 1 篇 杨国伟
  • 1 篇 郭建
  • 1 篇 杨益民

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=超硬非晶碳薄膜"
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超硬非晶碳薄膜用作红外增透膜的研究
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激光与红外 2002年 第6期32卷 419-421页
作者： 郭建 杨益民 杨国伟 湘潭大学物理系 湖南湘潭411105
用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜。对膜进行了表面形貌观察、显微硬度测试 ,测试并分析了膜的Raman光谱和傅立叶变换红外光谱。发现膜含微晶石墨杂质较少 ,具有硬度高、化学惰性等优点 ,适应于制作硅衬... 详细信息
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