超硬非晶碳薄膜用作红外增透膜的研究
Study on Super-hard Amorphous Carbon upon Silicon as Antireflective and Protective Film作者机构：湘潭大学物理系湖南湘潭411105
出 版 物：《激光与红外》 (Laser & Infrared)
年 卷 期：2002年第32卷第6期
页 面：419-421页
核心收录：
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学]
摘 要：用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜。对膜进行了表面形貌观察、显微硬度测试 ,测试并分析了膜的Raman光谱和傅立叶变换红外光谱。发现膜含微晶石墨杂质较少 ,具有硬度高、化学惰性等优点 ,适应于制作硅衬底上波长低于
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