检索结果-南通市图书馆

作者：皮文苑上海交通大学

学位级别：硕士

随着微机电系统的迅速发展,作为微机电系统中关键执行部件的微电机也越来越受到人们的关注。目前已有多种形式的微电机相继问世,主要有静电微电机、电磁微电机和超声波微电机。静电微电机的输出力和力矩非常小。电磁微电机内部有线圈,... 详细信息

随着微机电系统的迅速发展,作为微机电系统中关键执行部件的微电机也越来越受到人们的关注。目前已有多种形式的微电机相继问世,主要有静电微电机、电磁微电机和超声波微电机。静电微电机的输出力和力矩非常小。电磁微电机内部有线圈,同时转速高,需用减速器,因此其结构较复杂。超声波微电机是利用压电材料的逆压电效应激发定子振动,再通过定转子间的摩擦作用驱动转子旋转。这种特殊的工作机理使超声波微电机与电磁微电机相比,具备许多优点,如:结构简单紧凑,低速大力矩,不需减速机构,无电磁干扰及动态响应快等,因此超声波微电机是最具发展潜力的微电机。现有的超声波微电机均是基于压电陶瓷的d33逆压电效应或d31逆压电效应设计的。这些超声波微电机会存在结构复杂、不容易微型化、不容易充分极化、输出力矩小等各种问题。因此本文利用压电陶瓷的d15逆压电效应设计了一种超声波微电机,并详细分析了其运行机理,且对其进行建模仿真,此外还设计了超声波微电机的驱动控制系统。所取得的阶段性成果如下: 1、利用压电陶瓷的d15逆压电效应设计了一种超声波微电机,然后根据弹性体的固有振动及强迫振动理论,从定子的振动情况、定子行波的形成及定子表面质点的椭圆运动轨迹三个方面详细地分析了超声波微电机的运行机理。 2、从定子模型、定转子接触界面模型及转子模型三个方面建立了超声波微电机的机电耦合模型,并在该模型的基础上仿真了超声波微电机的输出特性。 3、从超声波微电机驱动控制系统的设计要求出发,提出了超声波微电机驱动控制系统的总体设计方案,并根据该方案完成了超声波微电机驱动控制系统的硬件设计,包括驱动电路的设计及速度控制系统的设计。 4、根据超声波微电机驱动控制系统的总体设计方案,从PWM信号产生、电机速度检测、电机速度控制、通讯及显示这五部分完成了超声波微电机驱动控制系统的软件设计,包括上位机软件设计及下位机软件设计。 5、搭建了实验平台,并对驱动控制系统进行了调试,包括对驱动电路的调试及速度控制系统的调试。

关键词：超声波微电机运行机理模型仿真驱动控制系统

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微电子机械系统中的超微电机

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电子元件与材料 2003年第12期22卷 46-48页

作者：陈宝施进浩信息产业部电子第二十一研究所上海200233

介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等。分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。

关键词：微电子机械系统静电型微电机电磁型微电机超声波微电机超微电机

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微机电系统中微电机的发展趋暖

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世界产品与技术 2003年第12期 42-45页

作者：施进浩陈宝中国电子科技集团公司第二十一研究所

文章介绍了微机电系统中的关键执行部件-超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、鞭毛电机、超声波微电枧等。分析了其原理,分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了徽电子机械系统中微电机的发展趋势。

关键词：微机电系统超微电机静电型微电机电磁型微电机鞭毛电机超声波微电机

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1mm压电柱式超声微电机的研制

1mm压电柱式超声微电机的研制

引用

第七届中国小电机技术研讨会

作者：张凯周铁英王欢袁世明姜开利清华大学清华大学清华大学清华大学清华大学

介绍了一种新型超声波微电机的设计研制工作。这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径1mm,长约5mm,重量仅36mg。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。文章介绍了极化方式的选择... 详细信息

介绍了一种新型超声波微电机的设计研制工作。这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径1mm,长约5mm,重量仅36mg。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。文章介绍了极化方式的选择,电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试。实验表明,该电机能承受最高350V的驱动电压,获得1800r/min的转速和4μNm的堵转力炬。此外,这种电机具有明显的微型化优势,根据现有工艺还可使电机直径减小到0.5mm左右。

关键词：超声波微电机压电柱式极化方式电极间隔性能测试

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