微电子机械系统中的超微电机
The Micro-motor of Micro Electromechanical System作者机构：信息产业部电子第二十一研究所上海200233
出 版 物：《电子元件与材料》 (Electronic Components And Materials)
年 卷 期：2003年第22卷第12期
页 面：46-48页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：微电子机械系统 静电型微电机 电磁型微电机 超声波微电机 超微电机
摘 要：介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等。分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。
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