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PC光学树脂计量圆光栅的制作

光学精密工程 2010年第8期18卷 1788-1792页

作者：陈赟王力锋李艳茹中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033

为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方... 详细信息

为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3Pa,蒸发距离为150mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅。在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础。

关键词：聚碳酸酯基片计量圆光栅光栅复制

基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作

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传感技术学报 2019年第10期32卷 1447-1450页

作者：陈赟高胜英张晰韩庆阳中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

为了解决目前玻璃基片计量圆光栅无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的要求,需要改进制作计量圆光栅的基片材料。首先对光学树脂、铟钢等材料的特性进行比较,得出铟钢作为基底具有制作计量圆光栅的可行性;其次,结合现有的镀膜复制... 详细信息

为了解决目前玻璃基片计量圆光栅无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的要求,需要改进制作计量圆光栅的基片材料。首先对光学树脂、铟钢等材料的特性进行比较,得出铟钢作为基底具有制作计量圆光栅的可行性;其次,结合现有的镀膜复制工艺,通过控制膜料质量,在蒸镀真空度1.0×10^3Pa,蒸发距离为200mm,做出膜厚220nm的单层膜铟钢基片;最后,参照光刻复制工艺,通过控制腐蚀时间确定线宽深度的工艺参数下制作出铟钢基片的单层膜平面反射计量圆光栅,在50倍显微镜下观察,线条陡直,用它提取出来的信号质量良好。实验表明:制作铟钢单层膜平面反射式计量圆光栅的工艺参数正确,为进一步广泛应用于精密测角仪器、光栅计量设备和精确跟踪定位设备等提供了试验基础。

关键词：基片铟钢平面反射式计量圆光栅真空镀膜

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计量圆光栅超微粒乳剂的涂布工艺

光学仪器 1988年第6期 36-41页

作者：喻洪麟重庆大学

本文讨论了计量圆光栅超微粒乳剂涂布的工艺问题。在大量实验的基础上,提出了一种有效的计量圆光栅超微粒乳剂涂布方法:“动态旋转定量涂布法”,并取得了理想的实用效果。为获得大直径、高精度、高分辨率的计量圆光栅的母板,提供了一条... 详细信息

本文讨论了计量圆光栅超微粒乳剂涂布的工艺问题。在大量实验的基础上,提出了一种有效的计量圆光栅超微粒乳剂涂布方法:“动态旋转定量涂布法”,并取得了理想的实用效果。为获得大直径、高精度、高分辨率的计量圆光栅的母板,提供了一条新的途径。该方法同样适用于其它各种圆形光学元件的涂布。

关键词：计量圆光栅高分辨率母板高分辨力超微粒光栅盘乳剂层涂布法蒸馏水动态旋转明胶溶液乳胶涂层感光性能感光度光栅板缩边涂布工艺卤离子

计量圆光栅环形莫尔条纹的刻划偏心调试误差分析

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光学仪器 1988年第5期 10-15页

作者：喻洪麟重庆大学

本文对刻划不通过中心的计量圆光栅,环形莫尔条纹,刻划时的偏心调试误差进行了讨论。并提出了刻划时偏心调试误差的公差范围。这对提高计量圆光栅的莫尔条纹位置精度及刻划质量,有一定的实际意义。

关键词：莫尔条纹位置精度计量圆光栅误差分析数值分析光栅副偏心量

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基于计量圆光栅的舵偏角测量系统的研制

基于计量圆光栅的舵偏角测量系统的研制

作者：任周唱哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

空气动力控制类导弹依靠舵机控制系统控制舵面的偏转角度从而控制导弹的飞行姿态和飞行轨迹，因此，在导弹生产、调试以及检验过程中需要准确测量舵面的实际偏转角度(简称舵偏角)以验证舵机的控制性能。舵偏角测量系统的研制即是为了测... 详细信息

空气动力控制类导弹依靠舵机控制系统控制舵面的偏转角度从而控制导弹的飞行姿态和飞行轨迹，因此，在导弹生产、调试以及检验过程中需要准确测量舵面的实际偏转角度(简称舵偏角)以验证舵机的控制性能。舵偏角测量系统的研制即是为了测量并记录导弹的舵偏角，从而为舵机控制系统的性能验证和评估以及后续技术改进提供重要的依据。本文在进行详细的需求分析基础上，并结合计量圆光栅在进行角度测量方面具有测量精度高、范围广、抗干扰能力强等优点，提出并论证了基于计量圆光栅的舵偏角测量系统总体设计方案，完成了舵偏角测量系统的软、硬件设计。硬件设计方面，重点阐述了系统中关键单元的设计和关键技术，并对圆光栅安装方法、参考零位设计、转动惯量设计以及光栅信号处理技术、高速缓存SDRAM技术、以太网接口通讯技术等进行了分析;软件设计方面，根据系统功能及硬件层次结构，将舵偏角测量系统软件划分为FPGA固件、单片机软件、测试计算机应用软件三个层次，并详细介绍了各个软件的设计过程和工作流程。最后，本文针对计量圆光栅安装偏心对测量精度的影响作了详细分析，并通过同轴度标校、系统零位标校和光栅脉冲比例因子标校对舵偏角测量系统进行标校。最后，通过大量测试和评估实验证明，本文所研制的舵偏角测量系统实现了某舵面舵偏角的自动化测量，并具有设备安装方便，性能稳定，达到了测量精度优于0.05o、角度测量范围为-40o40o、测量的舵面转动速度高于500o/s等技术指标，系统的其它各项指标也符合设计要求和用户使用要求。

关键词：舵偏角计量圆光栅舵偏角采集装置以太网接口通讯

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计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究

长春理工大学学报（自然科学版） 2012年第3期35卷 40-43页

作者：陈赟李艳茹张红胜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033

计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提。详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺... 详细信息

计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提。详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺和质量参数进行了对比,为设计高精度角度传感器提供了一定的理论参考。

关键词：计量圆光栅制作工艺刻划精度均匀性

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论计量圆光栅的质量指标

计量学报 1982年第3期 182-188页

作者：黄尚廉重庆大学

本文应用信息理论建立莫尔-富氏光场的数学模型,讨论误差对莫尔信号的调制,以期作为规定计量圆光栅质量指标的依据。所得结论对计量长光栅也同样适用。

关键词：莫尔信号调制函数直流分量幅值莫尔条纹计量圆光栅光栅盘质量指标经济指标

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高精度零位计量圆光栅的研制

光学仪器 1986年第6期 16-20页

作者：喻洪麟重庆大学

本文讨论了高精度零位计量圆光栅的设计原理及研制的基本方法,该方法同样适用于零位计量长光栅的研制。

关键词：计量圆光栅栅栅母板栅线高精度

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液态油墨制作计量圆光栅的研究

长春理工大学学报（自然科学版） 2012年第3期35卷 44-46页

作者：李艳茹陈赟张红胜王晓峰中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033

液态油墨又称液态感光油墨,是一种特殊的紫外油墨,通过紫外曝光后固化,和玻璃、金属、塑料薄膜等材料有较好的附着力和牢固度,广泛应用于高精密度电路板、多层板电路的内层蚀刻、各种精密金属标牌腐蚀与电镀印制工艺等行业。但它直接用... 详细信息

液态油墨又称液态感光油墨,是一种特殊的紫外油墨,通过紫外曝光后固化,和玻璃、金属、塑料薄膜等材料有较好的附着力和牢固度,广泛应用于高精密度电路板、多层板电路的内层蚀刻、各种精密金属标牌腐蚀与电镀印制工艺等行业。但它直接用于制作计量圆光栅未见报道,通过对液态油墨复制工艺的研究,及计量圆光栅制作工艺的对比,详细介绍了液态油墨制作计量圆光栅的制作工艺,试验证明液态油墨制作计量圆光栅是可行的。

关键词：液态油墨计量圆光栅制作工艺