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计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究

The Research on Manufacture and Quality Parameter of Metrology Circular Grating

作     者:陈赟 李艳茹 张红胜 CHEN Yun;LI Yanru;ZHANG Hongsheng

作者机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033 

出 版 物:《长春理工大学学报(自然科学版)》 (Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期:2012年第35卷第3期

页      面:40-43页

学科分类:08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基  金:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新(Y00332H100) 

主  题:计量圆光栅 制作工艺 刻划精度 均匀性 

摘      要:计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提。详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺和质量参数进行了对比,为设计高精度角度传感器提供了一定的理论参考。

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