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学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 计算机科学与技术...
    • 1 篇 软件工程

主题

  • 2 篇 薄膜粗糙度
  • 2 篇 薄膜应力
  • 1 篇 carlo法
  • 1 篇 cvd沉积工艺
  • 1 篇 x-射线光刻掩模
  • 1 篇 monte
  • 1 篇 金刚石薄膜
  • 1 篇 薄膜生长

机构

  • 1 篇 兰州工业学院
  • 1 篇 四川大学

作者

  • 1 篇 万静
  • 1 篇 立
  • 1 篇 孙治国
  • 1 篇 冉均国

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=薄膜粗糙度"
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计算机模拟薄膜生长过程研究
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电脑知识与技术 2015年 第9期11卷 161-162,167页
作者： 孙治国 兰州工业学院材料工程学院 甘肃兰州730050
该文采用MonteCarlo算法，以面心立方结构材料为例，对薄膜生长过程中的应力进行了计算机模拟，同时也模拟了在薄膜生长的过程中表面粗糙和基底温度之间所存在的关系。通过模拟结果发现，当基底温度较低时薄膜表面相对粗糙，而随着基底... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
金刚石膜同步辐射X-射线掩模的研究进展
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四川师范大学学报（自然科学版） 2001年 第6期24卷 618-621页
作者： 万静 立 冉均国 四川大学无机非金属材料系
超大规模集成电路 (VLSI)线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高 ,缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径 .探索采用X 射线光刻技术时 ,用金刚石薄膜作为掩模基膜的研究现状与发展方向 .金刚石薄膜因其具有优异的机械... 详细信息
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