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微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究

中国机械工程 2005年第Z1期16卷 202-204页

作者：刘奎苑伟政邓进军马炳和姜澄宇西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072

应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计... 详细信息

应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法.

关键词：微型传感器热敏元件薄膜电阻电阻温度系数

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薄膜电阻加热器的高精度温控

红外与激光工程 2001年第2期30卷 131-133页

作者：黎全钟钦林亚风魏文俭邓立新陈前荣国防科技大学理学院光电工程系湖南长沙410073

文中介绍了用掺锡的氧化铟导电膜作为加热方式并采用比例积分微分方式通过A D卡输出电平控制加热电压 ,实现高精度温控 ,重点是针对小热容加热体的特点采用相应的措施通过比例积分微分控制实现精确控温。初步研制成了高发射率、可持续... 详细信息

文中介绍了用掺锡的氧化铟导电膜作为加热方式并采用比例积分微分方式通过A D卡输出电平控制加热电压 ,实现高精度温控 ,重点是针对小热容加热体的特点采用相应的措施通过比例积分微分控制实现精确控温。初步研制成了高发射率、可持续工作并能实现精确控温的高精度薄膜电阻加热板。

关键词：薄膜电阻加热板高精度温控

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薄膜电阻应变传感器中的绝缘隔离

真空 1994年第2期31卷 6-8页

作者：黄蕙芬东南大学电子工程系

木文介绍了薄膜电阻应变传感器中作为绝缘隔离层的双层介质膜的制备方法及其绝缘特性．

关键词：薄膜电阻应变传感器绝缘隔离

薄膜电阻湿热老化失效机理分析及封装材料耐温耐湿性能研究

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薄膜电阻湿热老化失效机理分析及封装材料耐温耐湿性能研究

作者：吴植文华南理工大学

学位级别：硕士

薄膜电阻作为一种重要的电子元器件,被大量应用在电子产品中,而其在高温、高湿的环境下容易失效,造成电路的工作异常。因此研究薄膜电阻在高温高湿下的失效机理对提高薄膜电阻的可靠性和延长其使用寿命具有重要意义。本文对在85℃和85%... 详细信息

薄膜电阻作为一种重要的电子元器件,被大量应用在电子产品中,而其在高温、高湿的环境下容易失效,造成电路的工作异常。因此研究薄膜电阻在高温高湿下的失效机理对提高薄膜电阻的可靠性和延长其使用寿命具有重要意义。本文对在85℃和85%相对湿度（RH）下通电的薄膜电阻失效品进行失效分析,研究了各组分材料的性质,结合实际失效案例分析并提出了相应的解决措施,为提高片式电阻元器件的可靠性提供了一定的参考价值。具体的研究内容如下:首先,对目前用于生产的薄膜电阻的不同材料进行研究,通过对陶瓷基板耐湿性分析可以发现陶瓷基板的致密化程度的越高,对高湿环境下抑制水蒸气渗入到电阻内部的效果越好,而封装树脂Ⅳ的玻璃化转变温度（T）为149.6℃,吸水率为0.10%,在具备不错的耐热性同时还具备优异的耐湿性。对陶瓷基板和封装树脂耐温耐湿性能的研究也为后续研究薄膜电阻湿热老化提供理论支持。其次,详细研究不同模式下薄膜电阻实际失效案例的失效机理,归纳总结了薄膜电阻失效的原因。其中薄膜电阻开路的原因为水蒸气进入电阻内部,由于内应力的作用,金属内部层与层之间的连接产生分离,在这个过程中电阻值逐渐增大,直到金属之间连接不连续,从而形成开路电路。薄膜电阻阻值超差的问题为空气中含硫物质的影响和基板表面存在缺陷,端电极的硫化和电阻膜在局部溅射不均匀,使得薄膜电阻在通电高湿环境下阻值出现漂移。而造成薄膜电阻的电阻温度系数（TCR）异常的问题主要来自于水蒸气进入电阻内部和银电极的硫化。最后,合成一种新型的环氧树脂（EP）复合材料,通过使用顶角戴帽法成功合成了异氰酸酯功能化的倍半硅氧烷（MP）,采用化学共聚的方式改性环氧塑封树脂,研究了MP改性对环氧塑封树脂耐热性、耐湿性和介电性能的影响。结果表明,MP的笼型结构可以通过4,4-二环己基甲烷二异氰酸酯（MDI）加成缩合在EP上,大大提高了环氧塑封树脂复合材料的耐热性能和耐湿性能,其玻璃化转变温度提高约27℃,并使初始热分解温度升高到335℃,750℃时的残留质量也从10.4%提高到22.2%,吸水率仅为0.033%。此外,复合材料介电性能测试结果表明,随着MP的添加量从0到3%,相对介电常数在10～5 Hz时从3.99下降到3.02,介电损耗从0.024降低到0.020。由于这些优异的性能,应用新型MP/EP复合材料有望提高电子设备在高温高湿环境下可靠性。

关键词：薄膜电阻失效机理高温高湿笼型倍半硅氧烷环氧树脂

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碳纳米管薄膜电阻的热敏特性测试

西安交通大学学报 2003年第8期37卷 876-877页

作者：朱长纯马强田昌会西安交通大学电子与信息工程学院西安710049

针对单根碳纳米管测试的困难,用丝网印刷的方法制作了一种碳纳米管薄膜电阻.测量其热敏特性表明:其阻值随温度有明显的变化,并具有线性关系,通过线性拟合计算得到其电阻率温度系数为-4 79×10-6Ω·m/℃.研究结果表明,碳纳米管可望作为... 详细信息

针对单根碳纳米管测试的困难,用丝网印刷的方法制作了一种碳纳米管薄膜电阻.测量其热敏特性表明:其阻值随温度有明显的变化,并具有线性关系,通过线性拟合计算得到其电阻率温度系数为-4 79×10-6Ω·m/℃.研究结果表明,碳纳米管可望作为一种特殊的温度传感器用在功能服装中.

关键词：碳纳米管薄膜电阻热敏特性

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LCP柔性基板的薄膜电阻制作技术

微纳电子技术 2021年第2期58卷 170-176页

作者：丁蕾罗燕刘凯陈韬王立春上海航天电子技术研究所上海201109

针对液晶聚合物(LCP)柔性基板高频电子封装应用需求,采用一种薄膜溅射工艺直接在LCP柔性基板上制作TaN薄膜电阻,研究不同等离子体预处理方式对LCP表面形貌和LCP表面薄膜金属膜层附着强度的影响,进一步研究溅射气压和氮气体积分数等参数... 详细信息

针对液晶聚合物(LCP)柔性基板高频电子封装应用需求,采用一种薄膜溅射工艺直接在LCP柔性基板上制作TaN薄膜电阻,研究不同等离子体预处理方式对LCP表面形貌和LCP表面薄膜金属膜层附着强度的影响,进一步研究溅射气压和氮气体积分数等参数对电阻性能的影响,考察LCP柔性基板上的TaN薄膜电阻精度及电阻温度系数(TCR),并制备出50Ω的薄膜电阻。结果表明:当射频功率为300 W的氧等离子体预处理600 s时,LCP表面的面粗糙度低,LCP基板表面薄膜金属膜层附着强度高,其值>5.0 N/mm^(2);当溅射功率为400 W、氮气体积分数为3%、溅射气压为0.2 Pa时,制备的TaN薄膜电阻的阻值精度高,阻值精度≤±4%,TCR电阻稳定性能好。

关键词：液晶聚合物(LCP)柔性基板 TaN 薄膜电阻电阻温度系数(TCR) 膜层附着强度电阻精度

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真空变温薄膜电阻测试仪器的设计与应用

物理实验 2011年第1期31卷 28-30,33页

作者：朱亚彬魏敏建何帆刘依真王保军陈志杰北京交通大学理学院物理实验中心北京100044

设计了自制真空变温薄膜电阻测试仪器,可以实现粗真空条件下,从室温到300℃的四探针法薄膜电阻测试.该仪器适用于开展薄膜物性与电阻和温度相关的实验,例如,金属与半导体薄膜的温度-电阻特性实验,二氧化钒薄膜热滞效应实验等.

关键词：真空变温薄膜电阻

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基于薄膜电阻的新型光纤电流传感器的研究

仪表技术与传感器 2016年第4期 8-10页

作者：贾丹平高浠萌王大力沈阳工业大学信息科学与工程学院辽宁沈阳110870 沈阳新杉电子工程有限公司辽宁沈阳110016

为了满足电力需求,在高压直流输电技术的基础上,提出了基于薄膜电阻的新型无源光纤电流传感器的设计方案。在实验室条件下,为金属薄膜电阻选取合适的性能参数,利用有限元热分析ANSYS软件对传感器部分进行建模分析,搭建实验平台,根据荧... 详细信息

为了满足电力需求,在高压直流输电技术的基础上,提出了基于薄膜电阻的新型无源光纤电流传感器的设计方案。在实验室条件下,为金属薄膜电阻选取合适的性能参数,利用有限元热分析ANSYS软件对传感器部分进行建模分析,搭建实验平台,根据荧光余辉特性得知,荧光寿命τ与温度存在对应关系,采集测量数据,通过前期算法比较,在低压端选择prony算法处理测量数据。结果表明:该方案稳定性高、误差小,理论分析与实验监测结果比较吻合,可完成高压大电流的测量。

关键词：高压直流输电电流传感器薄膜电阻光纤温度 ANSYS仿真荧光余辉 prony算法

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基于薄膜电阻的风动压检测系统

传感器与微系统 2021年第5期40卷 111-113页

作者：田俊琦秦会斌华咏竹杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所浙江杭州310018

针对风动压检测,提出一种基于薄膜电阻检测风动压的方法。根据热平衡方程将薄膜电阻阻值转换成空气流速,风动压可通过伯努利方程转换空气流速获得。利用数字滤波去除采集到的异常数据,结合施密斯补偿去除传感器检测过程中的延迟,从而得... 详细信息

针对风动压检测,提出一种基于薄膜电阻检测风动压的方法。根据热平衡方程将薄膜电阻阻值转换成空气流速,风动压可通过伯努利方程转换空气流速获得。利用数字滤波去除采集到的异常数据,结合施密斯补偿去除传感器检测过程中的延迟,从而得到准确可靠的风动压数据。试验表明:本文提出的基于薄膜电阻的风动压检测系统能够检测到空气流速和风动压,可以广泛运用于工业、农业、风速风压测量等研究领域。

关键词：薄膜电阻热平衡方程伯努利方程风动压施密斯补偿