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薄膜技术在原子频标中的应用

真空与低温 2021年第5期27卷 411-416页

作者：崔敬忠陈大勇张金海涂建辉杨炜刘志栋兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000

原子频标是典型的量子电子学产物,它可以输出稳定的频率信号,在导航、守时、授时以及通信等国计民生的各个方面都有重要的作用。原子频标制造过程中采用薄膜技术可以有效地提高原子频标的性能和使用寿命。本文首先阐述了传统铷、铯、氢... 详细信息

原子频标是典型的量子电子学产物,它可以输出稳定的频率信号,在导航、守时、授时以及通信等国计民生的各个方面都有重要的作用。原子频标制造过程中采用薄膜技术可以有效地提高原子频标的性能和使用寿命。本文首先阐述了传统铷、铯、氢原子频标中薄膜技术的应用,即薄膜技术在铷原子频标中用于光谱灯优化和光频移抑制,以改善铷原子频标的稳定度和漂移;在铯原子频标中用于电子倍增器研制及其新工艺和新方法的研究,用以提高铯束管的寿命和信噪比;在氢原子频标中用于氢原子存储,降低氢原子与泡壁的碰撞概率,延长氢原子弛豫时间,提升信噪比。其次,对汞离子频标、微型CPT原子频标等新型原子频标中薄膜技术的应用和发展进行了梳理和总结,并对下一代星载原子频标中薄膜技术的重要作用和发展进行了展望。

关键词：薄膜技术原子频标电子倍增器信噪比

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薄膜技术

材料保护 1999年第8期 42-44页

作者：付江民

薄膜技术９９０８００１　提高金刚石膜与硬质合金结合强度的新方法——ＬｅｅＤ　Ｇ．Ｓｕｒｆａｃｅ＆ＣｏａｔｉｎｇｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１９９８，１００～１０１（１～３）∶１８７（英文）在硬质合金上沉积金刚石膜，由于二... 详细信息

薄膜技术９９０８００１　提高金刚石膜与硬质合金结合强度的新方法——ＬｅｅＤ　Ｇ．Ｓｕｒｆａｃｅ＆ＣｏａｔｉｎｇｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１９９８，１００～１０１（１～３）∶１８７（英文）在硬质合金上沉积金刚石膜，由于二者热膨胀系数失配，使金刚石膜内应力较大，导致金刚石膜剥离或开裂。对基材进行改性，制备三维热力学上和成分上呈梯度变化的中间层，可提高金刚石膜与硬质合金的结合强度。在硬质合金上沉积ＷＣ，提高了硬质合金表面粗糙度，从而明显改善金刚石膜的结合强度。９９０８００２　ＣＶＤ沉积薄膜的前处理——ＡｂｉｓｓｅｔＳ．ＴｈｉｎＳｏｌｉｄＦｉｌｍｓ，１９９８，３１５（１～２）∶１７９（英文）研究了在进行ＣＶＤ沉积薄膜前对高温合金进行气体氮化处理的工艺，选用３８ＣＤ４、３０ＮＣＤ１４二种高温合金进行氮化处理，用ＮＨ３／Ｈ２／Ｈ２作反应气体，用ＭｏＣＶＤ沉积Ｖ－Ｃ－Ｎ类薄膜。还研究了用Ｎ２／Ａｒ混和气体进行微波等离子辅助氮化作微波等离子ＣＶＤ沉积ＳｉＣ的前处理工艺。结果表明，氮化前处理可提高微波等离子ＣＶＤＳｉＣ膜和ＭｏＣＶＤＶ（Ｃ、Ｎ）膜的结合强度。９９０８００３　用ＭｏＣＶＤ方法制备ＹＳＺ防护膜——ＭａｒｔｉｎｅｚＥ．...

关键词：金刚石膜结合强度磁控溅射沉积英文硬质薄膜氧化膜薄膜沉积射频溅射防护膜薄膜技术微波等离子体耐磨性能柱状晶显微硬度

Electrical characterization of integrated passive devices using thin film technology for 3D integration

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Journal of Zhejiang University-Science C(Computers and Electronics) 2013年第4期14卷 235-243页

作者： Xin SUN Yun-hui ZHU Zhen-hua LIU Qing-hu CUI Sheng-lin MA Jing CHEN Min MIAO Yu-feng JIN National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication Peking University Department of Mechanical and Electrical Engineering Xiamen University Information Microsystem Institute Beijing Information Science and Technology University

With the development of 3D integration technology,microsystems with vertical interconnects are attracting attention from researchers and industry applications.Basic elements of integrated passive devices(IPDs),including inductors,capacitors,and resistors,could dramatically save the footprint of the system,optimize the form factor,and improve the performance of radio frequency(RF) systems.In this paper,IPDs using thin film built-up technology are introduced,and the design and characterization of coplanar waveguides(CPWs),inductors,and capacitors are presented.

关键词：集成技术电气特性无源器件薄膜技术 3D IPDS 无线电频率行业应用

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薄膜技术

薄膜技术

1994年

作者：严一心林鸿海

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耐磨防腐非晶碳薄膜技术

2018年

作者：周升国王智祥陈颢

冶金机械设备中，其零件的损坏形式主要有三种，即磨损、腐蚀和断裂。一般的冶金设备中约有80％的零件因磨损而失效报废，可以说磨损是导致冶金设备发生故障的主要“元凶”，本书内容围绕耐磨防腐非晶碳薄膜技术，主要针对磨防腐非晶碳... 详细信息

冶金机械设备中，其零件的损坏形式主要有三种，即磨损、腐蚀和断裂。一般的冶金设备中约有80％的零件因磨损而失效报废，可以说磨损是导致冶金设备发生故障的主要“元凶”，本书内容围绕耐磨防腐非晶碳薄膜技术，主要针对磨防腐非晶碳薄膜制备技术、气相沉积单金属复合非晶态碳薄膜、气相沉积稀土改性纳米复合非晶态碳薄膜、液相沉积纳米晶碳薄膜、液相沉积石墨烯-碳纳米管增强碳薄膜进行系统的论述。本书可作为从事冶金设备防护技术、薄膜技术、表面工程技术等领域的相关技术人员的专业参考书，也可作为高等院校相关专业大中专及本科生的学习用书。

关键词：碳薄膜技术

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薄膜技术在太阳能利用技术中的应用

薄膜技术在太阳能利用技术中的应用

2013年广东省真空学会学术年会

作者：董婷婷罗迪帆江绍基中山大学光电材料与技术国家重点实验室

随着世界能源局势的发展,太阳能利用技术作为一种重要的节能减排和新能源技术引起了世界各国的广泛关注。通过对各类太阳能利用技术总结表明,薄膜技术已经成为了太阳能利用技术的重要组成,甚至是其中的核心技术之一,因此薄膜技术在新能... 详细信息

随着世界能源局势的发展,太阳能利用技术作为一种重要的节能减排和新能源技术引起了世界各国的广泛关注。通过对各类太阳能利用技术总结表明,薄膜技术已经成为了太阳能利用技术的重要组成,甚至是其中的核心技术之一,因此薄膜技术在新能源领域引起了国内外科学界的重视。本课题组总结了目前处于研究热点的各类太阳能利用技术及其关键环节,在分析阐释太阳能利用技术中各种功能的薄膜的结构、工作原理及特性的同时,对同类功能的薄膜进行了分析和比较,并详细论述了薄膜制备技术在各类太阳能利用技术中的应用。并通过分析总结,对各类太阳能利用技术及薄膜的发展现状与趋势进行了分析和预测。太阳能利用技术是指通过控制、利用太阳光而实现节能或获得能量的技术。根据工作原理的不同,太阳能利用技术主要分为节能玻璃技术、太阳能光热技术、太阳能光伏技术三大类。其中,节能玻璃技术主要是通过调节玻璃的红外线透过率来实现节能,太阳能光热与光伏技术的核心则分别集中在提高集热器的吸收辐射比和pn结的光电转换效率之上。通过对太阳能利用技术的调研表明,薄膜技术是太阳能利用技术的核心技术之一。从薄膜功能方面,本课题组针对太阳能利用技术中关键的薄膜(如低辐射薄膜、金属陶瓷选择性吸收薄膜、CdTe太阳能薄膜等),分析阐释其结构、工作原理及特性,在同类太阳能利用技术的范畴内,对不同的利用技术及薄膜进行了分析和对比,论述了不同技术及薄膜之间的区别及各自的优势。从薄膜制备技术方面,本课题组从生产线工艺与实验室制备两个角度阐述了多种太阳能利用技术及薄膜的制备流程和所需的设备,针对其中关键的薄膜制备技术(如等离子体增强化学气相沉积、磁控溅射)进行了详细的阐述,同时对不同的制备技术进行了分析和比较。

关键词：太阳能薄膜技术光热光伏

来源： cnki会议评论

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薄膜技术在太阳能利用技术中的应用

薄膜技术在太阳能利用技术中的应用

中国光学学会2011年学术大会

作者：林艺敏江绍基中山大学光电材料与技术国家重点实验室

随着世界能源局势的发展,太阳能利用技术作为一种重要的节能和新能源技术引起了世界各国的广泛关注。而薄膜技术作为其中的核心技术之一,在新能源领域也引起了国内外科学界的重视。

关键词：太阳能薄膜技术低辐射光热光伏

来源： cnki会议评论

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薄膜技术应用于光学元件的专利分析

企业导报 2012年第17期 131-133页

作者：李欣李飞国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心材料工程发明审查部国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心光电技术发明审查部

以涉及薄膜技术应用于光学元件的专利分析为样本,从中外专利申请量、中国专利申请中申请人、申请类别等多种角度剖析了薄膜技术应用于光学元件的整体发展状况。研究表明在我国薄膜技术应用于光学元件领域的发明专利申请中,国外专利申请... 详细信息

以涉及薄膜技术应用于光学元件的专利分析为样本,从中外专利申请量、中国专利申请中申请人、申请类别等多种角度剖析了薄膜技术应用于光学元件的整体发展状况。研究表明在我国薄膜技术应用于光学元件领域的发明专利申请中,国外专利申请份额相当大,但在国内经济发展的趋势下,国内的专利申请量在逐年提高。建议我国在该领域的科技研发仍需进一步提高。

关键词：薄膜技术光学元件专利分析

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现代薄膜技术

现代薄膜技术