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蒸发镀膜的精细监测
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真空与低温 1983年 第2期 1-9页
作者： 薛大同 魏向荣
1.概述为满足膜厚测定高稳定度的要求,我们研制成功SF—3型监测器。由于采取10兆赫特定切角、成对晶体组装、改进装架结构和工艺、取消不稳定的LC振荡器调零、/v转换、改用大讯号混频、数字频率计直接读数等措施,本监测器在恒温31.7±0.... 详细信息
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溅射镀膜及其与蒸发镀膜的物理过程比较
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电子器件 1985年 第1期 5-14页
作者： 陈国平 南京工学院
本文从溅射镀膜与蒸发镀膜的物理过程的比较分析、包括:1.沉积粒子的产生过程;2.迁移过程;3.成膜过程,说明溅射镀膜的特点及导致溅射镀膜工艺近年来迅速发展的原因。
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真空蒸发镀膜
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物理实验 1997年 第5期17卷 201-202页
作者： 王希义 西安交通大学 710049
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论基片平移对蒸发镀膜膜厚均匀性的改善
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中国高新区 2017年 第6期 106-106页
作者： 何兴伟 金林枫 王慧斌 浙江师范大学固态光电与器件省重点实验室
本文对比了蒸发镀膜过程中基片不移动和基片在正方形区域内做平移运动两种情形的膜厚均匀性特性。计算得出,对于基片不移动情形,基片中心在蒸发源正上方时,膜厚方差取最小值σ;,而基片做平移运动情形的膜厚方差σ;比σ;还要小。结果表明... 详细信息
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Evatec BAK761电子束真空蒸发镀膜系统基本结构原理及维护
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电声技术 2021年 第9期45卷 27-29,33页
作者： 邓坤 成都海威华芯科技有限公司 四川成都610299
电子束真空蒸发镀膜系统被广泛应用于现代半导体制造和材料表面改性等领域.基于真空和电子束来阐释Evatec公司(瑞士)的BAK761型电子束真空蒸发镀膜系统的基本结构与原理,并结合实际阐述生产中经常遇到的一些故障处理与维护保养方法.
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金刚石的蒸发镀膜及应用
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广东工业大学学报 1998年 第1期15卷 3-6页
作者： 吴惠枝 何肇基 黎祚坚 广东工业大学材料科学与工程系
对金刚石进行铬、钛真空蒸发镀膜的表面处理，研究了膜的形貌、结合强度、残余应力和热扩散后的转化行为．并对金刚石／金属复合体进行力学性能测定及耐磨性测定结果证明，金刚石的蒸发镀膜对改善金属结合型金刚石工具的内界面结合强... 详细信息
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真空蒸发镀膜
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物理实验 2017年 第5期37卷 27-31页
作者： 甄聪棉 李壮志 侯登录 郭革新 李玉现 河北师范大学物理科学与信息工程学院 河北石家庄050024 河北师范大学河北省新型薄膜材料重点实验室 河北石家庄050024
针对真空蒸发制备铝膜进行了详细地介绍,主要包括了真空的获得、真空的测量以及蒸发制备铝的的原理和主要事项进行了深入地探讨,改进工作对真空系统的理解和掌握有着指导意义.
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教学用金属真空蒸发镀膜实验装置的研制
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大学物理实验 2016年 第6期29卷 98-100页
作者： 安奎生 付申成 谷德山 东北师范大学 吉林长春130024
介绍了自制的金属真空蒸发镀膜实验装置,分析了真空镀膜的实验原理,详述了真空蒸发镀膜装置的操作流程。
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连续镀膜在真空蒸镀中的应用
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现代机械 2024年 第3期 13-18页
作者： 林启璇 韩辉 张松林 沈阳理工大学机械工程学院 辽宁沈阳110000 成都超迈光电科技有限公司 四川成都610100
蒸发镀膜是现有薄膜沉积中最为泛用的镀膜技术。针对现有蒸发镀膜设备在进行大批量薄膜制备时效率低下这一问题,基于规模生产需求设计了一种连续式蒸发镀膜设备,该设备通过设置多个仓室,仓与仓之间通过隔断阀连接,用以保持薄膜沉积仓内... 详细信息
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基于单片机的石英晶片镀膜测控系统设计
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微计算机信息 2007年 第4Z期23卷 131-133页
作者： 陈维 刘桂礼 李东 王艳林 北京机械工业学院电子信息工程系 北京100085
本文阐述了石英晶片真空蒸发镀膜测控的基本原理和镀膜过程中石英晶片谐振频率变化与镀膜厚度之间的关系。主要研究了以W77E516单片机为核心,配合其它相关芯片完成石英晶片真空蒸发镀膜过程测控系统的工作原理和实现方案,重点阐述了该... 详细信息
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