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  • 4 篇 工学
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主题

  • 5 篇 膜厚测量仪器
  • 2 篇 微纳米技术
  • 2 篇 计量科学研究院
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  • 2 篇 薄膜厚度
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  • 1 篇 搭桥
  • 1 篇 测厚
  • 1 篇 东莞市
  • 1 篇 无损检测

机构

  • 1 篇 中国华晶电子集团...
  • 1 篇 厦门大学

作者

  • 1 篇 陈文芗
  • 1 篇 林克
  • 1 篇 机经
  • 1 篇 宋向东
  • 1 篇 王传庆

语言

  • 5 篇 中文
检索条件"主题词=膜厚测量仪器"
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大规模集成电路膜厚测量仪器校准检定初步探索
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微电子技术 2001年 第2期29卷 54-56页
作者： 王传庆 宋向东 中国华晶电子集团公司技术支援中心 江苏无锡214061
在半导体圆片制造过程中 ,膜厚 (SiO2 、SiN、多晶Si等 )测量是非常重要的工艺参数。本文介绍了几种主要的膜厚测量仪器以及这些仪器的校准检测方法 ,并着重介绍了校准用膜厚标准的制定及应用。
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一种微处理器控制的膜厚测量仪器
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中国仪器仪表 1995年 第5期 21-22页
作者： 陈文芗 厦门大学科学仪器系
本文介绍了一种电脑膜厚测量仪器的工作原理及其结构，讨论了实现膜层厚度非线性的校正方法。
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正业电子牵线搭桥OSP膜厚测量仪器落户广东东莞
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广东科技 2007年 第8期16卷 23-23页
作者： 林克
2007年6月8日，由东莞市正业电子有限公司承办的“OSPrey800测厚仪高峰论坛”在广东东莞市高炒镇中汇文华酒店举行。据悉，“OSPrey800测厚仪”是具有世界领先科技的科学测量OSP膜的仪器。
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广东计量科学研究院完成多项微纳米技术科研项目
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润滑与密封 2017年 第9期42卷 91-91页
随着纳米科技及微加工的发展,微纳尺度产品的计量检测愈加迫切,需求也逐渐增大。为解决量传溯源问题,广东省计量院通过承担质检总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”和省科技厅科研项目“微纳米尺度薄... 详细信息
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广东计量科学研究院完成多项微纳米技术科研项目
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军民两用技术与产品 2017年 第21期 37-37页
作者： 机经
为解决量传溯源问题,广东省计量科学研究院依托国家质量监督检验检疫总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”,以及广东省科学技术厅科研项目“微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究”,研制出了微纳... 详细信息
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