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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 轻工技术与工程

主题

  • 1 篇 厚度
  • 1 篇 粘度
  • 1 篇 残胶
  • 1 篇 缩进距离
  • 1 篇 az703

机构

  • 1 篇 大连理工大学

作者

  • 1 篇 王秋森
  • 1 篇 王上飞
  • 1 篇 邹赫麟
  • 1 篇 王兴
  • 1 篇 黎晨

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=缩进距离"
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利用双层胶方法去除负性光刻胶残胶效果研究
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机电技术 2018年 第3期41卷 78-82页
作者： 黎晨 王秋森 王兴 王上飞 邹赫麟 大连理工大学机械工程学院 辽宁大连116024
提出了一种双层胶工艺去除表面残胶的新方法,即以正性光刻胶为底层胶膜、负性光刻胶为顶层胶膜,能有效地去除基底残胶。研究了正性光刻胶粘度和厚度对平均残胶量的影响,实验表明:转速为3000 r/min、厚度为1.36μm旋涂的低粘度正胶AZ703... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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