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文献类型

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 位能与动能
  • 1 篇 离子刻蚀
  • 1 篇 薄膜制备
  • 1 篇 同系温度
  • 1 篇 形貌
  • 1 篇 等离子体辅助
  • 1 篇 应力
  • 1 篇 结构区域相图

机构

  • 1 篇 加利福尼亚大学

作者

  • 1 篇 吉小超
  • 1 篇 andré anders
  • 1 篇 魏荣华

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=结构区域相图"
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包含等离子体辅助沉积参数和离子刻蚀作用过程的结构区域相图
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引用
中国表面工程 2016年 第1期29卷 1-6页
作者： André Anders 吉小超 魏荣华 加利福尼亚大学劳伦斯伯克利国家实验室
文中提出一种扩展的薄膜微观结构的区域相图,可以用其来表征过滤阴极弧以及高功率脉冲磁控溅射镀膜过程中含有大量离子流的动态沉积过程。其坐标轴包括广义同系温度,标量化动能以及可以表征离子刻蚀作用的净膜厚。需要强调的是,由于影... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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