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  • 1 篇 sic模板
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  • 1 篇 纳米光刻技术
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机构

  • 7 篇 中国科学院光电技...
  • 1 篇 南开大学
  • 1 篇 电子科技大学

作者

  • 7 篇 陈旭南
  • 7 篇 陈献忠
  • 5 篇 姚汉民
  • 4 篇 石建平
  • 3 篇 高洪涛
  • 3 篇 李展
  • 2 篇 罗先刚
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  • 2 篇 耿磊
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  • 1 篇 陈宗强
  • 1 篇 孙骞
  • 1 篇 杨明
  • 1 篇 陈元培

语言

  • 12 篇 中文
检索条件"主题词=纳米结构制作"
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亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用
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强激光与粒子束 2003年 第9期15卷 919-922页
作者： 陈献忠 姚汉民 陈旭南 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 四川成都610209
　介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法。亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程,原子的密度分布出现沟道化效应,给出基于光掩模制作纳米图形的基本原... 详细信息
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科学家发现纳米结构制作方法
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纳米科技 2013年 第6期10卷 87-87页
美国宾夕法尼亚大学的科学家用“直接组装”的方法制作出了微型花状液晶，这种液晶可用于镜头的制造。顾名思义，“直接组装”其实是按照一系列预定指令进行的制造工艺。
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混合网络纳米结构制作透明指纹传感器
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传感器世界 2018年 第7期24卷 55-55页
《自然·通讯》杂志近日发表了韩国蔚山国立科技研究所一个团队的一项材料科学新突破：以用超长银纳米纤维和纯银纳米线制成随机混合网络纳米结构，创造出新型透明电极，进而产生一种透明的指纹传感器，用户可以将手指放在屏幕的任何位... 详细信息
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用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析
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物理学报 2005年 第6期54卷 2645-2652页
作者： 陈献忠 姚汉民 陈旭南 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都610209
用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出... 详细信息
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用亚稳态氩原子束制作纳米结构
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光学精密工程 2003年 第1期11卷 6-10页
作者： 陈献忠 高洪涛 姚汉民 陈旭南 李展 石建平 陈元培 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 四川成都610209
纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 ,原子光刻技术是纳米图形制作的一项新方法。对直流高压放电产生的亚稳态氩原子束进行准直减小其发散角 ,亚稳态原子在与之传播方向垂直的激光驻波场中发生淬火并沉积在基底上 ,破坏吸附在基底表... 详细信息
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AAO为模板软印模法构建大面积高性能SERS基底（英文）
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南开大学学报（自然科学版） 2014年 第1期47卷 31-36页
作者： 陈宗强 齐继伟 杨明 孙骞 南开大学物理科学学院 天津300071
以双通多孔氧化铝(AAO)为模板用软印模法制作出硅胶(PDMS)纳米线团簇结构,用离子束溅射沉积法在硅胶纳米面条衬底上镀一层50nm的金膜,制成大面积、超高灵敏的SERS基底.以不同孔径的AAO为模板,制作出不同直径的纳米线.用罗丹明6G为探针分... 详细信息
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纳米光刻技术的现状和未来
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物理 2002年 第11期31卷 691-695页
作者： 陈献忠 姚汉民 陈旭南 李展 罗先刚 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都610209
纳米技术是 2 1世纪信息科学的一项关键技术 ,纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 .纳米光刻技术是制作纳米结构的基础 ,具有重要的应用前景 .文章对光学光刻技术进行了概述 ,介绍了几种纳米光刻技术的新途径、发展现状和关键问题 。
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纳米光刻技术现状与进展
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世界科技研究与发展 2005年 第3期27卷 7-11页
作者： 耿磊 陈勇 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都610054
随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础。纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景。文章介绍了几种极有潜力的下一代纳米光刻技术,包括极紫外光刻技术、电子束光刻技术、纳米压印光刻技术的新... 详细信息
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纳米印刷光刻技术
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微纳电子技术 2002年 第12期39卷 36-39页
作者： 陈献忠 姚汉民 陈旭南 李展 石建平 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 四川成都610209
介绍了纳米结构制作的一种新方法———纳米印刷光刻的基本原理、总体方案。该技术与其它微刻印技术相比,具有成本低、生产效率高、可批量生产、工艺过程简单等优点。介绍了SiC模板的制作方法、用纳米印刷光刻技术制作纳米结构的加工步... 详细信息
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原子束全息技术制作任意微细图形研究
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微细加工技术 2002年 第3期 48-51页
作者： 石建平 陈旭南 高洪涛 陈献忠 罗先刚 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都610209
从波粒二象性原理出发 ,研究了用氖原子束计算全息技术制作任意纳米结构的基本原理和方法 ,克服了用激光梯度场控制原子堆积 ,只能制作单一点、线等周期性纳米结构的不足。分析讨论了原子全息与光学全息的区别 ,指出只有经激光冷却的原... 详细信息
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