检索结果-南通市图书馆

利用纳米测量机实现大范围的计量型原子力显微镜

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计量学报 2005年第1期26卷 1-4页

作者：郭彤傅星陈津平胡晓东胡小唐天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了大范围的计量型AFM,测量范围可以达到25mmⅹ25mmⅹ5mm,分辨力为0.1nm。纳米测量机扩展了普通AFM测头的测量范围,减小了压电扫描器固有特性的影响。运动全范围内的自适应误差补偿通过5个自... 详细信息

利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了大范围的计量型AFM,测量范围可以达到25mmⅹ25mmⅹ5mm,分辨力为0.1nm。纳米测量机扩展了普通AFM测头的测量范围,减小了压电扫描器固有特性的影响。运动全范围内的自适应误差补偿通过5个自由度的闭环操作得以实现。系统的高精度是通过3个微型激光干涉仪的零阿贝误差设置,一个表面传感AFM测头以及两个角度传感器实现。系统具有4种工作模式,其中第4种为最佳工作模式。实验结果表明系统具有高精度和大范围的特点。

关键词：计量学纳米测量机计量型原子力显微镜激光干涉仪大范围测量

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基于纳米测量机的微结构三维坐标测量

光学精密工程 2020年第10期28卷 2252-2259页

作者：吴俊杰李源上海市计量测试技术研究院机械与制造计量技术研究所上海201203

针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量... 详细信息

针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量系统进行校准。为保证测量结果的可溯源性,对定位平台三轴激光干涉仪的激光器进行了拍频。最后,利用搭建的测量系统对高度10μm,2 mm的超高台阶及硅臂卡爪的侧壁倾角进行了测量,表明系统具备大尺寸结构的高精度测量和复杂MEMS器件特征尺寸的精确表征能力。

关键词：微纳米测量纳米测量机三维微接触测头高深宽比侧壁倾角

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纳米测量机传感器信号显示与切换系统的设计

自动化仪表 2012年第1期33卷 63-65,69页

作者：卢歆雷李华沈瑶琼李源王丽华中国计量学院计量测试工程学院浙江杭州310018 上海市计量测试技术研究院上海201203

为提高纳米坐标测量机的测量效率,降低因测头切换频繁引起的设备故障率,设计了一个具有测头测量信号/观察信号切换并能够实时显示测量信号电压值的装置。该装置主要以C8051F单片机为核心,通过A/D转换芯片和液晶显示模块实现信号电压值... 详细信息

为提高纳米坐标测量机的测量效率,降低因测头切换频繁引起的设备故障率,设计了一个具有测头测量信号/观察信号切换并能够实时显示测量信号电压值的装置。该装置主要以C8051F单片机为核心,通过A/D转换芯片和液晶显示模块实现信号电压值的显示功能,同时通过多路选通开关实现信号切换功能。试验表明,该装置的电压示值与输入电压的标准值之间的偏差为0.005 V,并且切换操作简便、准确安全,可以很好地实现显示和切换功能。

关键词： C8051F 信号切换液晶显示纳米测量机 A/D转换

应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化

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传感技术学报 2006年第5A期19卷 1512-1515页

作者：李源栗大超胡小唐赵大博郭彤陈津平天津大学测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.根据测头结构各个部分的设计目标,提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案.基于测头结构的力学模型,提出了结构参数对测头性能的影响机理,并采用有限元方法对测头的... 详细信息

为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.根据测头结构各个部分的设计目标,提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案.基于测头结构的力学模型,提出了结构参数对测头性能的影响机理,并采用有限元方法对测头的测杆、中心连接体、梁等结构参数进行了仿真优化,获得了符合测头整体性能设计要求的参数及应力分布曲线.

关键词： MEMS 微接触式测头纳米测量机结构设计优化

基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量

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传感技术学报 2008年第12期21卷 2097-2100页

作者：李源邹子英傅云霞傅星栗大超胡小唐上海市计量测试技术研究院上海201203 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,... 详细信息

针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,6.05μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088nm。

关键词：微机电系统微触觉测头尺寸测量纳米测量机

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微型激光干涉仪应用于纳米测量机

计量技术 2002年第4期 6-8页

作者：陈津平张宝峰胡晓东胡小唐天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

本文介绍德国SIOS公司的微型激光干涉仪在德国Ilmenau技术大学纳米测量机 (NMM )研制过程中的应用。简要介绍微型激光干涉仪的工作原理 ,重点论述NMM如何在 2 5mmx 2 5mmx 5mm的空间范围内实现分辨力为 1.

关键词：微型激光干涉仪纳米测量机工作原理结构三维测量

纳米校准与测试——基于纳米测量机的试验性研究

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计测技术 2008年第2期28卷 1-5,15页

作者：陈晓梅万宇朱振宇中国一航北京长城计量测试技术研究所北京100095

主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研... 详细信息

主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研航空基金项目"在NMM上实现小型非球面的坐标扫描轮廓测量方法"。

关键词：纳米测量机沟槽深度标准样板台阶高度标准样板非球面坐标测量

集成聚焦式测头的纳米测量机用于台阶高度标准的评价

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光学学报 2008年第6期28卷 1096-1100页

作者：郭彤陈津平傅星胡小唐天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价,该系统的测量范围可以达到25mm×25mm×5mm。描述了纳米测量机的工作原理,通过内嵌激光干涉仪和角度传感器的实时测量与反馈,实现高精度定位与扫描。聚焦式测头只作为零... 详细信息

利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价,该系统的测量范围可以达到25mm×25mm×5mm。描述了纳米测量机的工作原理,通过内嵌激光干涉仪和角度传感器的实时测量与反馈,实现高精度定位与扫描。聚焦式测头只作为零点传感器,与3个激光轴交于一点,避免了阿贝误差影响。通过将聚焦式测头的输出信号引入到纳米测量机的数字信号控制器中,实现定位系统的辅助测量,减小了聚焦式测头的非线性对测量结果的影响。根据ISO5436-1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的均方根(RMS)偏差为0.237nm。

关键词：测量与计量纳米测量机聚焦式测头台阶高度标准

集成AFM测头的纳米测量机用于台阶高度的评价

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计量学报 2008年第4期29卷 297-300页

作者：郭彤陈津平傅星 T. Hausotte G. Jager 胡小唐天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 伊尔梅瑙工业大学过程测量与传感技术研究所

利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感... 详细信息

利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感器,通过将AFM的悬臂梁反馈控制信号引入到NMM的数字信号控制器中,NMM实现在z方向的辅助测量,这种测量模式减小了AFM的PZT扫描器固有特性对测量的影响。根据ISO 5436—1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的标准偏差为0.52 nm。

关键词：计量学纳米测量机原子力显微镜台阶高度标准