基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量

作     者：李源 邹子英 傅云霞 傅星 栗大超 胡小唐 LI Yuan;ZOU Zi-ying;FU Yun-xia;FU Xing;LI Da-chao;HU Xiao-tang

作者机构：上海市计量测试技术研究院上海201203 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第12期

页      面：2097-2100页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家质检总局科技计划资助(D00RJ0704)“纳米测量机在半导体领域的应用” 

主　　题：微机电系统 微触觉测头 尺寸测量 纳米测量机 

摘      要：针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,6.05μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088nm。