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多角度光谱测量法制备短波通滤光膜技术

光电技术应用 2020年第2期35卷 70-73页

作者：张金豹史成浡耿浩河南平原光电有限公司河南焦作454001

详细论述了短波通滤光膜的理论设计与实际制备结果,光谱曲线偏离的原因及修正方法。首先选择高、低折射率膜料设计短波通滤光膜系,然后进行实际膜系制备。由于镀膜机存在控制误差,使得实际膜层制备厚度偏离理论厚度,导致实际制备光谱曲... 详细信息

详细论述了短波通滤光膜的理论设计与实际制备结果,光谱曲线偏离的原因及修正方法。首先选择高、低折射率膜料设计短波通滤光膜系,然后进行实际膜系制备。由于镀膜机存在控制误差,使得实际膜层制备厚度偏离理论厚度,导致实际制备光谱曲线超差。通过利用多角度光谱测量法对制备结果进行测量,依据多次测量结果的曲线偏离量,判断产生膜层厚度误差的膜料、膜层厚度误差的偏差大小及方向。在修正膜层厚度误差后,制备了光谱曲线平坦变化的短波通滤光膜。这种光谱性能更好的短波通滤光膜可以避免光学系统的偏色效应,此项技术为短波通滤光膜的设计与加工提供了新的理论依据与制备方案。

关键词：光学薄膜短波通滤光膜半波孔误差

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基于超薄硅酸盐玻璃的短波通滤光膜研制

中国战略新兴产业 2024年第12期 116-119页

作者：陈晓东上海葛西光学科技有限公司

随着激光医疗的迅速发展，对医疗系统中的光学元件性能提出了更高要求。本文针对治疗牙周炎、牙龈炎等牙齿相关疾病的医疗设备中的关键光学器件展开研究。首先，采用阴极溅射法制备了短波通滤光膜，经百格牢固度测试检测出膜层剥离现象... 详细信息

随着激光医疗的迅速发展，对医疗系统中的光学元件性能提出了更高要求。本文针对治疗牙周炎、牙龈炎等牙齿相关疾病的医疗设备中的关键光学器件展开研究。首先，采用阴极溅射法制备了短波通滤光膜，经百格牢固度测试检测出膜层剥离现象。其次，结合样品的SEM、透射光谱和应力测试等结果，分析膜层结合力较差的原因。最后，通过提高氩气充气量及调整烘烤温度，解决了膜层剥离问题，制备了结合性良好、粗糙度低、满足激光医疗设备使用要求的短波通滤光膜。

关键词：薄膜激光医疗阴极溅射短波通滤光膜

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模造光学玻璃非球面镜片短波通滤光膜的镀制

真空 2012年第6期49卷 44-46页

作者：孙可南京信息职业技术学院江苏南京210046

论述了短波通滤光膜的设计原理和计算方法,根据等效折射率和周期性对称膜系的理论,结合短波通滤光膜的技术要求,采用二氧化钛和二氧化硅作为高折射率材料和低折射率材料,计算出短波通滤光膜所需要的周期数和截止带宽度。用膜系设计软件... 详细信息

论述了短波通滤光膜的设计原理和计算方法,根据等效折射率和周期性对称膜系的理论,结合短波通滤光膜的技术要求,采用二氧化钛和二氧化硅作为高折射率材料和低折射率材料,计算出短波通滤光膜所需要的周期数和截止带宽度。用膜系设计软件对滤光膜系进行了优化,最终确定了满足实际制备条件的滤光膜周期数和每层膜厚,设计的短波通滤光膜光谱曲线达到了透射率的要求。依照设计结果,采用电子束蒸发的方法,在模造光学玻璃非球面镜片上镀制出符合技术要求的短波通滤光膜。滤光膜经过各种耐环境实验后,各项性能指标满足应用要求。

关键词：模造玻璃镜片短波通滤光膜薄膜设计

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激光倍频截止滤光膜研制

上海交通大学学报 1985年第2期 70-79页

作者：黄木贞上海交通大学应用物理系

本文介绍长波通和短波通截止干涉滤光膜系的选择,并对其通带和截止带的特性进行了计算。采用插入匹配层的方法来提高通带内特定波长的透射率。初步研制结果:长波通截止干涉滤光膜在反射带530nm 处的反射率 R 大于99%,通带1060nm 处的透... 详细信息

本文介绍长波通和短波通截止干涉滤光膜系的选择,并对其通带和截止带的特性进行了计算。采用插入匹配层的方法来提高通带内特定波长的透射率。初步研制结果:长波通截止干涉滤光膜在反射带530nm 处的反射率 R 大于99%,通带1060nm 处的透射率大于97%。短波通截止干涉滤光膜在反射带1060nm 处反射率大于99%,通带530nm 处的透射率大于97%。

关键词：截止滤光膜长波匹配层波浪激光倍频短波通滤光膜