基于等效折射率法的短波通滤光膜制备技术

作     者：张金豹 史成浡 耿浩 杨资阳 ZHANG Jinbao;SHI Chengbo;GENG Hao;YANG Ziyang

作者机构：河南平原光电有限公司河南焦作454001 

出 版 物：《新技术新工艺》 (New Technology & New Process)

年 卷 期：2022年第411卷第3期

页      面：36-40页

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

主　　题：光学薄膜 短波通滤光膜 通带 截止带 等效折射率 对称 

摘      要：军用光电系统通常包含白光成像、微光夜视、激光测距、激光制导、红外探测等多项功能,而短波通滤光膜以其特有的光学特性可以对这些光谱区域进行区分选择,便于实现光电系统的多光路设计,因此得到了广泛的应用。通过阐述短波通滤光膜设计方法和对称膜堆等效折射率特性,分析了膜系结构产生高级次截止带的原因是高级次带等效折射率为虚数,提出了利用等效折射率法抑制高级次截止带展宽通带制备短波通滤光膜的技术,所设计出的多单元周期的短波通滤光膜膜系标准结构在高级次带等效折射率为实数,使得高级次截止带变为了通带,利用离子源辅助技术制备膜层后,达到了在45°倾斜测试下400~900 nm,Tave≥92%,1064 nm,Tave≥92%,1570 nm,Rave≥92%的分光水平,膜层质量满足JB/T 8226.8—1999检测标准。同时随着多单元周期膜系结构中周期次数的增加,可以在不影响通带宽度的情况下,进一步提升截止深度,抑制杂散光干扰,优化超宽带短波通滤光膜光谱性能。