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真空科学与技术学报 2022年第7期42卷 491-496页

作者：王魁波罗艳吴晓斌中国科学院微电子研究所北京100029

针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封... 详细信息

针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封件的漏率。研制了一套密封件的漏率测量装置,装置极限真空可达10^(-7)Pa量级,漏率测量范围为:10^(-7)-10^(-14)Pa·m~3/s,可用于具有检漏接口的各类密封件的漏率测试。采用该装置的两种方法分别进行不锈钢刀口密封件的漏率测试。结果表明:动态比对法对该不锈钢刀口密封件的漏率测试误差较大,低于10^(-11)Pa·m~3/s量级的极低漏率密封件更适合采用静态累积比对法进行测试。

关键词：漏率测量比对法标准漏孔四极质谱仪

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升压法漏率测量装置的研制

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真空 2017年第1期54卷 5-9页

作者：朱爱青孙立臣窦仁超赵永恒魏本猛董栋王旭迪合肥工业大学机械工程学院真空与过装系安徽合肥230009 北京卫星环境工程研究所北京100094 上海卫星装备研究所上海201100

本文介绍了一种基于升压法的漏率测量装置,通过在传统升压法的基础上添加标准室,降低了测量过程中本底放气的影响,全金属密封避免了氦气的渗透,利用数据采集卡和组态王软件实现数据的连续采集和记录。装置测量了104Pa-105Pa下氦气通过... 详细信息

本文介绍了一种基于升压法的漏率测量装置,通过在传统升压法的基础上添加标准室,降低了测量过程中本底放气的影响,全金属密封避免了氦气的渗透,利用数据采集卡和组态王软件实现数据的连续采集和记录。装置测量了104Pa-105Pa下氦气通过测试元件的漏率,并利用检漏仪对测试结果进行了验证,相对误差在5.8%左右。本装置可以实现10^(-8)Pa m^3/s量级以下的漏率的精确测量。

关键词：升压法漏率测量标准室本底放气全金属密封

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虚拟仪器技术在漏孔漏率测量中的应用

虚拟仪器技术在漏孔漏率测量中的应用

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2010中国仪器仪表与测控技术大会

作者：李得天成永军冯焱盛学民赵澜魏万印兰州物理研究所

利用LabVIEW6.1开发了用于漏孔漏率测量的虚拟仪器系统,阐明了该虚拟仪器的硬件结构、软件设计思想和具体实现。该系统具有测量精度高、界面友好、运行稳定可靠、功能便于扩展等特点。

关键词：虚拟仪器漏率测量 LabVIEW

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正压法音速喷嘴气体小流量标准装置的建立和影响因素研究

正压法音速喷嘴气体小流量标准装置的建立和影响因素研究

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作者：夏馨卉河北大学

学位级别：硕士

半导体制备、环境监测等领域的发展对气体小流量测量的精度提出了更高的要求。气体小流量计多应用于（0.1～0.6）MPa,流量范围6 m3/h内的工况条件,但国内适用于小流量的标准装置多采用负压法,无法满足其检测需求,因此亟需建立正压法音... 详细信息

半导体制备、环境监测等领域的发展对气体小流量测量的精度提出了更高的要求。气体小流量计多应用于（0.1～0.6）MPa,流量范围6 m3/h内的工况条件,但国内适用于小流量的标准装置多采用负压法,无法满足其检测需求,因此亟需建立正压法音速喷嘴气体小流量标准装置。该文针对正压下音速喷嘴溯源时无法全面覆盖所需雷诺数范围、正压小流量装置漏率的测量方法和量化指标缺乏相关依据两方面的问题开展研究,并通过实验进一步验证装置的基本性能,完成装置的不确定度评定及不确定度水平验证。具体内容如下:（1）完成了正压音速喷嘴装置机械结构和测控系统的设计和搭建。首先明确装置建立的技术指标,结合流量检定需求点、温压测量有效性及机械加工可行性三方面,提出音速喷嘴规格及安装方式的选择依据。进而采用机械建模软件,设计音速喷嘴、滞止容器等关键部位的密封方式,并优化喷嘴下游阀门和管路,实现装置使用中监测及正、负压法结合的功能。（2）针对喷嘴溯源时无法通过实验全面覆盖所需雷诺数范围的问题,使用中国计量科学研究院正、负压法两套p.V.T.t装置对单支喷嘴做常压和正压压力点的定点校准。得到喷嘴各个压力点下的雷诺数和流出系数后,进而分别基于ISO 9300和最小二乘法进行非定点拟合,得到装置工作压力范围内准确连续的流出系数,其覆盖雷诺数范围2219～209700,经计算拟合引入的相对标准不确定度为0.04%。（3）为了解决正压小流量装置漏率的测量方法的选择问题,首先根据温、压测量仪表的配置对装置进行气密性测试和漏点排查。其次建立装置流量范围内不同压力和不同流量点下的漏率测量数学模型,并通过漏率测量实验量化漏率对装置的影响。结果表明:压力越高流量越小,装置的漏率越大;在（0.1～0.6）MPa,1 m3/h及以上流量范围内装置的漏率均小于0.1%,但在小流量点下漏率影响较为显著,说明密封性是建立正压装置需要考虑的关键因素之一。（4）为验证装置的性能,开展音速喷嘴标准装置的流量稳定性实验,完成装置的不确定度评定。进而选用热式气体质量流量计作为传递标准,将其与中国计量科学研究院活塞法标准装置（扩展不确定度0.16%,k=2）进行比对,验证装置的不确定度水平。结果表明:新建气体小流量音速喷嘴标准装置的流量稳定性在0.011%内,性能稳定可靠;比对满意度指标小于1,验证了装置不确定度水平优于0.2%（k=2）。基于以上研究内容,完成了（0.1～0.6）MPa音速喷嘴法气体小流量标准装置的建立,装置工况流量范围（0.016～6）m3/h,扩展不确定度为0.17%（k=2）。

关键词：气体流量音速喷嘴标准装置流出系数校准漏率测量不确定度

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