升压法漏率测量装置的研制
Development of a leak measurement apparatus based on pressure rise method作者机构：合肥工业大学机械工程学院真空与过装系安徽合肥230009 北京卫星环境工程研究所北京100094 上海卫星装备研究所上海201100
出 版 物：《真空》 (Vacuum)
年 卷 期：2017年第54卷第1期
页 面：5-9页
学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要：本文介绍了一种基于升压法的漏率测量装置,通过在传统升压法的基础上添加标准室,降低了测量过程中本底放气的影响,全金属密封避免了氦气的渗透,利用数据采集卡和组态王软件实现数据的连续采集和记录。装置测量了104Pa-105Pa下氦气通过测试元件的漏率,并利用检漏仪对测试结果进行了验证,相对误差在5.8%左右。本装置可以实现10^(-8)Pa m^3/s量级以下的漏率的精确测量。
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